微納結(jié)構(gòu)的柔性電子器件因其高的靈敏性、皮膚親和性、延展性、柔韌性等*的性能在生物醫(yī)學領(lǐng)域受到廣泛的關(guān)注。本篇報道綜述了微納米結(jié)構(gòu)柔性電子的進展，闡述了柔性電子器件的微納結(jié)構(gòu)、相關(guān)制備技術(shù)、在生物醫(yī)學領(lǐng)域的應(yīng)用以及面臨的機遇與挑戰(zhàn)。

    微納結(jié)構(gòu)柔性電子的結(jié)構(gòu)

圖1. 壓力柔性電子產(chǎn)品的微納結(jié)構(gòu)

（a）具有不同占空比的微錐結(jié)構(gòu)壓力傳感器的掃描電子顯微鏡（SEM），以及占空比與靈敏度之間的關(guān)系。（b）微針結(jié)構(gòu)壓力傳感器的SEM。（c）微柱結(jié)構(gòu)壓力傳感器的SEM和響應(yīng)壓力的電氣變化。（d）隨著距離和接觸面積的變化，施加在微圓頂結(jié)構(gòu)壓力傳感器上的壓力示意圖。（e）具有多孔結(jié)構(gòu)的壓力傳感器示意圖和相應(yīng)的SEM圖像。

圖2.應(yīng)變?nèi)嵝噪娮悠骷奈?納米結(jié)構(gòu)

（a）聚二甲基硅氧烷 (PDMS) 基板(i)上銀皺紋結(jié)構(gòu)的SEM圖像；具有屈曲結(jié)構(gòu)的可拉伸電子設(shè)備(ii)；和0%到50%應(yīng)變拉伸下的波浪結(jié)構(gòu)變形示意圖(iii)。（b）蛇形互連結(jié)構(gòu)示意圖(i)；具有蛇形互連結(jié)構(gòu)的超薄彈性體的未拉伸狀態(tài)(ii)和拉伸狀態(tài)(iii)的SEM圖像。（c）在彎曲、拉伸和扭曲下具有蛇形網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的微動傳感器的照片。（d）氧化石墨烯-納米復合材料(i, ii)上兩種剪紙幾何形狀的SEM圖像，以及剪紙片(iii)的機械曲線。

圖3.微/納米結(jié)構(gòu)柔性電子器件的模板方法