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高壓力型氣體質(zhì)量流量控制器-質(zhì)量流量計(jì)

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產(chǎn)品型號(hào)LF420-FM

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更新時(shí)間：2026-08-06 13:00:27瀏覽次數(shù)：373次

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四川萊峰流體設(shè)備制造有限公司

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產(chǎn)品簡介

材質(zhì)	不銹鋼	產(chǎn)地	國產(chǎn)
防爆標(biāo)志	無	工作溫度	5—45℃
工作壓力	0.1——0.5Mpa	公稱直徑	12 10mm
加工定制	否	精度等級(jí)	1
款式	電子帶數(shù)顯	量程比	50:1
流量測速范圍	3SCCM——30SLMkg/h	適用介質(zhì)	氣體
溫度范圍	中溫	壓力范圍	高壓
質(zhì)保	1年	轉(zhuǎn)換器形式	分體式

高壓力型氣體質(zhì)量流量控制器LF420-FM:質(zhì)量流量控制器（MFC）由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量（無需溫度壓力補(bǔ)償）。將傳感器加熱電橋測得的流量信號(hào)送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

詳細(xì)介紹

高壓力型氣體質(zhì)量流量控制器LF420-FM:質(zhì)量流量控制器（MFC）由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號(hào)送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

高壓力型氣體質(zhì)量流量控制器LF420-FM:LF系列的氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)主要用于：擴(kuò)散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)等制造設(shè)備中，并廣泛應(yīng)用于石油化工、制藥、冶金等行業(yè)。

高壓力型氣體質(zhì)量流量控制器LF420-FM:熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)主要的區(qū)別在于：氣體質(zhì)量流量控制器可以通過自身帶的閥門做PID調(diào)節(jié)程序，能夠自動(dòng)的調(diào)節(jié)和控制閥門的開度，來達(dá)到控制氣體的質(zhì)量流量。氣體質(zhì)量流量計(jì)主要是通過傳感器，感應(yīng)氣體的流量大小，并輸出到數(shù)據(jù)采集器。熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)的大優(yōu)點(diǎn)就是檢測出來的實(shí)際數(shù)據(jù)，不會(huì)受到溫度和壓力的影響，實(shí)測數(shù)據(jù)用戶也無需在進(jìn)行溫度和壓力補(bǔ)償?shù)膿Q算。

關(guān)鍵詞：氣體質(zhì)量流量控制器質(zhì)量流量控制器流量傳感器分流器調(diào)節(jié)閥

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