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Alicat質(zhì)量流量計(jì)的壓力控制回路特性

時(shí)間:2020/1/9閱讀:790
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在化學(xué)反應(yīng)器中,我們的質(zhì)量流量控制器被用來(lái)控制壓力,保證過(guò)程是可重復(fù)的。

Alicat質(zhì)量流量控制器可以測(cè)量體積流量、質(zhì)量流量、溫度和壓力,也可以在測(cè)量時(shí)控制壓力。

1、質(zhì)量流量計(jì)的靈活性

其他的大多數(shù)質(zhì)量流控制器缺乏靈活性,只允許控制質(zhì)量流量。采用壓力衰減方法來(lái)執(zhí)行泄漏檢查,您將使用壓力控制器來(lái)設(shè)置壓力、停止流量并等待壓力下降。

然后,您可以基于確切的氣體體積計(jì)算。如果你有一個(gè)連接Alicat質(zhì)量流量計(jì)的壓力控制器,一旦壓力穩(wěn)定下來(lái),你就會(huì)立即看到泄漏率。

這也為您節(jié)省了時(shí)間和物理空間。

2、閉環(huán)壓力

閉環(huán)壓力是基于壓力而不是質(zhì)量流量的反饋回路的術(shù)語(yǔ)。

質(zhì)量流量控制器通常會(huì)測(cè)量質(zhì)量流量,控制閥門,將質(zhì)量流量調(diào)節(jié)到所需的水平。當(dāng)控制壓力時(shí),閥門將根據(jù)壓力測(cè)量進(jìn)行調(diào)整。

例如,假設(shè)你控制著Alicat下游的壓力想要達(dá)到100 psi。如果你現(xiàn)在的壓力是80 psi,質(zhì)量流量控制器會(huì)打開閥門,直到壓力達(dá)到你的設(shè)定值。

這在需要控制壓力和確定流量的應(yīng)用中非常有有效。

3、MCD與CLP和累加器

Alicat帶有兩個(gè)閥門、閉環(huán)壓力和累加器質(zhì)量流量控制器是一個(gè)雙向控制器,有三個(gè)端口(進(jìn)口、過(guò)程、出口)和兩個(gè)閥門:一個(gè)帶有進(jìn)口流量和另一個(gè)帶有獨(dú)立的排氣閥。

它可以控制壓力的閉合量,可以用閥門來(lái)調(diào)節(jié)流量,也可以在壓力過(guò)大的情況下排到大氣或真空泵中。累加器測(cè)量已經(jīng)發(fā)生的流量。

有四種不同的方法來(lái)確定總流量使用這些雙向表:

  • 增加正流量,減去負(fù)流量,讓總流量變?yōu)樨?fù)流量
  • 加正流量,減負(fù)流量,不允許總流量變?yōu)樨?fù)流量
  • 增加正流量,忽略負(fù)流量
  • 正流量相加,負(fù)流量相減,達(dá)到0時(shí)復(fù)位

你會(huì)知道在任何給定的時(shí)間、特定的體積里有多少氣體,如果你想測(cè)量進(jìn)入系統(tǒng)的氣體流量,這是很重要的。

4、使用Alicat質(zhì)量流量計(jì)與轉(zhuǎn)子流量計(jì)

轉(zhuǎn)子流量計(jì)測(cè)量體積流量,它們?cè)谔囟ǖ膲毫ο逻M(jìn)行調(diào)節(jié),從而得出質(zhì)量流量。

雖然它們可以標(biāo)記為標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘(slpm)或標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/分鐘(sccm),但該讀數(shù)僅在調(diào)諧轉(zhuǎn)子流量計(jì)的壓力下有效。

另一方面,Alicat質(zhì)量流量計(jì)在任何時(shí)候都是有效的,因?yàn)樗幸粋€(gè)壓力傳感器,可以在壓力變化時(shí)調(diào)整讀數(shù)。

比較轉(zhuǎn)子流量計(jì)和Alicat質(zhì)量流量計(jì)就像比較蘋果和橘子,因?yàn)樗鼈儨y(cè)量的是不同的東西,除非轉(zhuǎn)子流量計(jì)處在非常特定的校準(zhǔn)壓力下。

然而,既然我們可以用Alicat質(zhì)量流量裝置來(lái)控制壓力,為什么不控制到轉(zhuǎn)子流量計(jì)調(diào)到的壓力呢?

我們通常設(shè)置轉(zhuǎn)子流量計(jì)下游的壓力,所以這只是簡(jiǎn)單地把Alicat質(zhì)量流量計(jì)放在下游,閥門在另一邊,這樣你就可以通過(guò)Alicat質(zhì)量流量計(jì)和轉(zhuǎn)子流量計(jì)來(lái)控制閥門的背壓。

然后你可以同時(shí)在Alicat質(zhì)量流量計(jì)和轉(zhuǎn)子流量計(jì)上直接測(cè)量流量。

當(dāng)然,你必須確保Alicat質(zhì)量流量計(jì)選擇轉(zhuǎn)子流量計(jì)的氣體和標(biāo)準(zhǔn)條件。它們?cè)谵D(zhuǎn)子流量計(jì)上是不可調(diào)的,但在Alicat質(zhì)量流量計(jì)上是可調(diào)的。

您可以從數(shù)百種氣體中選擇,以及用戶選擇的標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力。

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