Alicat的新版質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器擁有的流量精度新水平。通過(guò)改進(jìn)的溫度和壓力補(bǔ)償，我們的流量測(cè)量更能抵抗溫度和壓力變化帶來(lái)的影響。電路板全部重新設(shè)計(jì)，增加了信噪比，并大大提高了原始傳感器數(shù)據(jù)采樣的分辨率。這些改進(jìn)使得本就非常出色的Alicat質(zhì)量流量?jī)x表成為市場(chǎng)上的差壓流量測(cè)量系統(tǒng)之一。

Alicat設(shè)備現(xiàn)在比以往任何時(shí)候都更加

Alicat質(zhì)量流量?jī)x表的校準(zhǔn)精度提升至±0.6%Rd或±0.1%F.S.，兩者以較大者為準(zhǔn)(高精度校準(zhǔn)精度提升至±0.5%Rd或±0.1%F.S.)

而我們老版本的流量?jī)x表，標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)精度為±(0.8%Rd +0.2%F.S.)，高精度校準(zhǔn)精度為±(0.8%Rd +0.2%F.S.)。

量程比和分辨率規(guī)格從200:1和4位總數(shù)字提高到10000:1和5位總數(shù)字，并進(jìn)行了補(bǔ)償改進(jìn)，使流量分辨率規(guī)格提高了10倍。

圖一 Alicat 新老版本精度對(duì)比

用一個(gè)Alicat流量設(shè)備替換多個(gè)不同量程熱式MFC

我們的可用量程范圍明顯高于競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手；由于量程范圍限制，在其他熱式流量計(jì)/控制器的系統(tǒng)中可能需要兩臺(tái)MFC，但Alicat只用一臺(tái)就可以覆蓋全量程。例如，如果您需要控制100 SLPM到100 SCCM之間的氧氣流量，一個(gè)Alicat MFC可以在整個(gè)范圍內(nèi)提供的、可重復(fù)的控制。大多數(shù)基于熱式的MFC則需要兩個(gè)或多個(gè)MFC才能完成相同的任務(wù)。我們能為客戶(hù)實(shí)現(xiàn)：

• 降低總的硬件成本
• 降低運(yùn)營(yíng)成本
• 減少備件和庫(kù)存資金
• 不再基于單一氣體測(cè)量，內(nèi)置98+預(yù)置氣體，無(wú)需額外校準(zhǔn)，減少備件需要
• 簡(jiǎn)化設(shè)置
• 方便隨時(shí)更換

精度的提高意味著工藝的改進(jìn)：

• 氣體混合更，減少氣體浪費(fèi)
• 研發(fā)實(shí)驗(yàn)中的測(cè)量更，在擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模時(shí)做出更好的生產(chǎn)決策
• 更高的精度可以為其他流量設(shè)備的校準(zhǔn)提供更高的標(biāo)準(zhǔn)

分辨率的提高意味著更精細(xì)的控制：

• 生物反應(yīng)器，制藥，激光等敏感應(yīng)用可以依賴(lài)Alicat來(lái)實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制。

精度計(jì)算示例：

要使用新規(guī)范計(jì)算Alicat儀表的精度，您需要了解流量?jī)x表的量程及其讀數(shù)。

假設(shè)一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)的M系列質(zhì)量流量計(jì)的全量程為10 SLPM，讀數(shù)為5 SLPM。對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)精度規(guī)范，16.7%的滿(mǎn)量程值是一個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)。當(dāng)讀數(shù)低于滿(mǎn)量程的16.7%時(shí)，用滿(mǎn)量程的0.1%來(lái)計(jì)算誤差更大一些。當(dāng)讀數(shù)高于滿(mǎn)量程的16.7%時(shí)，用讀數(shù)值的0.6%來(lái)計(jì)算誤差更大一些。由于5SLPM的流量高于滿(mǎn)量程的16.7%，故精度計(jì)算基于流量的實(shí)際讀數(shù)：

精度= ±0.6%的讀數(shù)值 = (0.005)(5 SLPM) = ±0.03 SLPM

如果流量讀書(shū)低于滿(mǎn)量程的16.7%，如0.5SLPM，此時(shí)精度計(jì)算是基于滿(mǎn)量程值：

精度= ±0.1% 的滿(mǎn)量程值= (0.01)(10 SLPM) = ±0.1 SLPM

對(duì)于高精度規(guī)范，轉(zhuǎn)折點(diǎn)是滿(mǎn)量程的20%。采用前一個(gè)例子來(lái)計(jì)算，結(jié)果如下：

讀數(shù)為5SLPM時(shí)，精度= ±0.5% 的讀數(shù)值= (0.005)(5 SLPM) = ±0.025 SLPM

讀數(shù)為0.5SLPM時(shí)，精度= ±0.1% 的滿(mǎn)量程值= (0.01)(10 SLPM) = ±0.1 SLPM

圖二 新版本較老版本精度提升比例

實(shí)用術(shù)語(yǔ)：

滿(mǎn)量程：設(shè)備大的校準(zhǔn)讀數(shù)。對(duì)于雙向流設(shè)備，請(qǐng)參閱相關(guān)規(guī)范表以了解完整的規(guī)格說(shuō)明。

分辨率： 讀取/控制變量的小位數(shù)。

% Rd:  取決于實(shí)際讀數(shù)值的精度指標(biāo)，與滿(mǎn)量程無(wú)關(guān)。用該數(shù)值乘以實(shí)際讀數(shù)值就能得到在某一特定讀數(shù)時(shí)的精度。

% F.S.:  取決于滿(mǎn)量程值的精度指標(biāo)，與實(shí)際讀數(shù)值無(wú)關(guān)。用該數(shù)值乘以設(shè)備校準(zhǔn)的滿(mǎn)量程值就能得到特定設(shè)備的精度。注意：雙向流設(shè)備可能具有不同的滿(mǎn)量程值，詳細(xì)信息請(qǐng)參閱各個(gè)規(guī)格表。