Servomex DF-760E 含水量和含氧量測量儀

DF-760E超微量水分分析儀是一款結(jié)合庫倫電量法和可調(diào)諧激光二極管傳感器的分析儀，適合在超高

純電子級氣體中檢測微量級雜質(zhì)水含量以實現(xiàn)質(zhì)量控制。
產(chǎn)品特點

水分測量采用高度穩(wěn)定的可調(diào)諧激光二極管傳感器

氧氣測量采用非消耗型傳感器，保修期長達5年

低維護

一臺儀器適用于多種背景氣體測量

典型應(yīng)用

集成電路板工廠的大宗氣體質(zhì)量控制

密閉性檢測

規(guī)格

氣體類型： O2

技術(shù)庫倫電量法非消耗型電化學傳感器可調(diào)諧激光二極管

性能

最大工作量程： 0-20ppm 0-20ppm

最小推薦輸出范圍： 0-1ppb 0-2ppb

基本誤差（精度）： +/- 3%讀數(shù)或+/- 0.1ppb（以最大者為準） +/- 3%讀數(shù)或+/- 0.2ppb（以最大者為準）

響應(yīng)時間(T90): 小于15秒在1升/分下小于3分鐘

零點漂移/月： 可忽略可忽略

量程漂移/月： 可忽略可忽略

檢測限（LDL）： 75ppt 200ppt

失常恢復(fù)時間： 恢復(fù)到以前穩(wěn)定讀數(shù)±10ppb內(nèi)不超過5分鐘恢復(fù)到以前穩(wěn)定讀數(shù)±10ppb內(nèi)不超過5分鐘

標配功能

輸出： 水分和氧氣測量均采用隔離4-20mA dc并可選0-1、0-2、0-5或0-10V dc（可在標定期間設(shè)置凍結(jié)模擬輸出）

輸出范圍： 可比例調(diào)整至0-2ppb或0-20ppm之間的任意范圍

聲光報警： 4個氧氣含量、4個水分含量、溫度、電解液狀態(tài)、水分傳感器診斷、低流量、零點驗證或標定進行中、水分分

析儀掉線、標定期間氧氣模擬輸出凍結(jié)控制

雙比例范圍： 兩個自定義次要模擬輸出范圍，在超出主要范圍后可重新比例調(diào)整輸出

繼電器觸點： 4個非閉鎖觸點，可獨立分配給氧氣報警或氧氣標定進行中指示器，以及4個非閉鎖觸點，可獨立分配給水分報

警。SPDT觸點額定值為30V dc，5 A。

串行通信： 出廠配置RS 232或RS 485雙向串行通信

氣體輸送系統(tǒng)： 采用氣動無彈簧隔膜閥、零死體積對焊組件實現(xiàn)傳感器隔離和零點驗證；大容量凈化器濾除任何水分和氧氣，

確保高精度零點（不適用于氧氣樣本）；伴熱溫控型送樣系統(tǒng)；低接觸面積的集成壓力調(diào)節(jié)器；帶流量控制

的旁通回路；¼” VCR進口接頭、¼” 卡套旁通出口接頭、至真空源的¼”卡套出口接頭、?”氣動氣體卡套入

口接頭。

引射器真空源： 引射器入口和出口帶¼”卡套接頭

安裝： 19”機架安裝NEMA 1外殼

選項

泵真空源： 泵入口和出口帶¼”卡套接頭

氫氣安全系統(tǒng)吹掃： 氫氣配套的可選安全系統(tǒng)包括：送樣聯(lián)鎖、殼體吹掃閥和可選外部真空泵的NEMA 4外殼和Z型吹掃保護系統(tǒng)。

真空泵的NEMA 4外殼和Z型吹掃保護系統(tǒng)為選配（注：氫氣安全系統(tǒng)將繼電器數(shù)目由4個限定為3個）。

樣氣

溫度： 10°C至80°C（50°F至176°F），建議將采樣線路加熱至60°C

露點： 環(huán)境溫度以下5°C (9°F)

條件： 無油、非腐蝕性、非凝氣

塵埃： 小于2μm微粒

排空： 大氣壓。

樣氣流量： 2至5 l/min（僅適用于氮氣）—其他背景氣體請聯(lián)系仕富梅

旁通流量： 0.25至2.5l/min

樣氣壓力： 30至150psig（3.08至11.3 BarA）

DF-760E超微量水分分析儀是一款結(jié)合庫倫電量法和可調(diào)諧激光二極管傳感器的分析儀，適合在超高

純電子級氣體中檢測微量級雜質(zhì)水含量以實現(xiàn)質(zhì)量控制。
產(chǎn)品特點

水分測量采用高度穩(wěn)定的可調(diào)諧激光二極管傳感器

氧氣測量采用非消耗型傳感器，保修期長達5年

低維護

一臺儀器適用于多種背景氣體測量

典型應(yīng)用

集成電路板工廠的大宗氣體質(zhì)量控制

密閉性檢測

規(guī)格

氣體類型： O2

技術(shù)庫倫電量法非消耗型電化學傳感器可調(diào)諧激光二極管

性能

最大工作量程： 0-20ppm 0-20ppm

最小推薦輸出范圍： 0-1ppb 0-2ppb

基本誤差（精度）： +/- 3%讀數(shù)或+/- 0.1ppb（以最大者為準） +/- 3%讀數(shù)或+/- 0.2ppb（以最大者為準）

響應(yīng)時間(T90): 小于15秒在1升/分下小于3分鐘

零點漂移/月： 可忽略可忽略

量程漂移/月： 可忽略可忽略

檢測限（LDL）： 75ppt 200ppt

失?；謴?fù)時間： 恢復(fù)到以前穩(wěn)定讀數(shù)±10ppb內(nèi)不超過5分鐘恢復(fù)到以前穩(wěn)定讀數(shù)±10ppb內(nèi)不超過5分鐘

標配功能

輸出： 水分和氧氣測量均采用隔離4-20mA dc并可選0-1、0-2、0-5或0-10V dc（可在標定期間設(shè)置凍結(jié)模擬輸出）

輸出范圍： 可比例調(diào)整至0-2ppb或0-20ppm之間的任意范圍

聲光報警： 4個氧氣含量、4個水分含量、溫度、電解液狀態(tài)、水分傳感器診斷、低流量、零點驗證或標定進行中、水分分

析儀掉線、標定期間氧氣模擬輸出凍結(jié)控制

雙比例范圍： 兩個自定義次要模擬輸出范圍，在超出主要范圍后可重新比例調(diào)整輸出

繼電器觸點： 4個非閉鎖觸點，可獨立分配給氧氣報警或氧氣標定進行中指示器，以及4個非閉鎖觸點，可獨立分配給水分報

警。SPDT觸點額定值為30V dc，5 A。

串行通信： 出廠配置RS 232或RS 485雙向串行通信

氣體輸送系統(tǒng)： 采用氣動無彈簧隔膜閥、零死體積對焊組件實現(xiàn)傳感器隔離和零點驗證；大容量凈化器濾除任何水分和氧氣，

確保高精度零點（不適用于氧氣樣本）；伴熱溫控型送樣系統(tǒng)；低接觸面積的集成壓力調(diào)節(jié)器；帶流量控制

的旁通回路；¼” VCR進口接頭、¼” 卡套旁通出口接頭、至真空源的¼”卡套出口接頭、?”氣動氣體卡套入

口接頭。

引射器真空源： 引射器入口和出口帶¼”卡套接頭

安裝： 19”機架安裝NEMA 1外殼

選項

泵真空源： 泵入口和出口帶¼”卡套接頭

氫氣安全系統(tǒng)吹掃： 氫氣配套的可選安全系統(tǒng)包括：送樣聯(lián)鎖、殼體吹掃閥和可選外部真空泵的NEMA 4外殼和Z型吹掃保護系統(tǒng)。

真空泵的NEMA 4外殼和Z型吹掃保護系統(tǒng)為選配（注：氫氣安全系統(tǒng)將繼電器數(shù)目由4個限定為3個）。

樣氣

溫度： 10°C至80°C（50°F至176°F），建議將采樣線路加熱至60°C

露點： 環(huán)境溫度以下5°C (9°F)

條件： 無油、非腐蝕性、非凝氣

塵埃： 小于2μm微粒

排空： 大氣壓。

樣氣流量： 2至5 l/min（僅適用于氮氣）—其他背景氣體請聯(lián)系仕富梅

旁通流量： 0.25至2.5l/min

樣氣壓力： 30至150psig（3.08至11.3 BarA）