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技術(shù)文章

掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope)的優(yōu)點有哪些?

閱讀:91發(fā)布時間:2024-12-8

什么是掃描電子顯微鏡?

掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope)是應(yīng)用電子束在樣品表面掃描激發(fā)二次電子成像的電子顯微鏡。主要用于研究樣品表面的形貌與成分。

掃描電子顯微鏡有哪些優(yōu)點?

1、電子束對樣品的損傷與污染程度較??;

2、在觀察形貌的同時,還可利用從樣品發(fā)出的其他信號作微區(qū)成分分析;

3、樣品制備過程簡單,不用切成薄片;

4、能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),樣品的尺寸可大至120MM×80MM×50MM;

5、樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn),因此,可以從各種角度對樣品進行觀察;

6、景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍;

7、圖象的放大范圍廣,分辨率也比較高??煞糯笫畮妆兜綆资f倍,它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間,可達3NM。


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