超聲波掃描顯微鏡利用超聲波脈沖回波的性質(zhì)，激勵壓電換能器發(fā)射出多束超聲波通過耦合液介質(zhì)傳遞到被測樣品，聲波這種機械波傳遞過程類似電磁波，在經(jīng)過不同介質(zhì)時會發(fā)生折射、反射等現(xiàn)象，通過聲阻抗不同的材料時會發(fā)生波形相位、能量上的變化等現(xiàn)象，經(jīng)過一系列數(shù)據(jù)采集計算形成灰度值圖片，可用來分析樣品內(nèi)部狀況。
超聲掃描顯微鏡是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測設備。在工作中采用反射或者透射等掃描方式來檢查元器件、材料、晶圓等樣品內(nèi)部的分層、空洞、裂縫等缺陷。
作為無損檢測分析中的一種，它可以實現(xiàn)在不破壞物料電氣能和保持結構完整性的前提下對物料進行檢測。被廣泛的應用在物料檢測（IQC）、失效分析（FA）、破壞性物理分析（DPA）、可靠性分析、元器件二次篩選、質(zhì)量控制(QC)、質(zhì)量保證及可靠性(QA/REL)、研發(fā)(R&D)等領域。
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