X熒光光譜儀的主要部件光源、激發(fā)單色器、樣品池、熒光單色器及探測器等。探測器是很重要的零件，它是用于接受和分辨信號。我們在選用探測器時(shí)，因?yàn)樘綔y器性不同，所以需要綜合考慮多種因素。

目前X熒光光譜儀常用的X射線探測器有三種：流氣式正比計(jì)數(shù)器、NaI閃爍計(jì)數(shù)器、Si(Li)探測器。就三者而言，產(chǎn)生一個(gè)離子對的平均能量，他們之間大約相差一個(gè)量級，而分辨率與統(tǒng)一個(gè)光子產(chǎn)生的電子數(shù)的平方根成正比，所以他們的分辨率也粗略相差三倍。

下面一起來和小編比較下三種X射線探測器吧！

1、流氣式正比計(jì)數(shù)器適用波長范圍0.15～5.0/nm，平均能量/離子對26.4eV，電子數(shù)305/光子，分辨率1.2/keV。

2、NaI閃爍計(jì)數(shù)器適用波長范圍0.02~0.2/nm，平均能量/離子對350eV，電子數(shù)23/光子，分辨率3.0/keV。

3、Si(Li)探測器適用波長范圍0.05～0.8/nm，平均能量/離子對3.6cV，電子數(shù)2116/光子，分辨率0.16/keV。

盡管X熒光光譜儀由于使用分光晶體而達(dá)到約12eV的分辨率，但新的能量探測器已經(jīng)可達(dá)到4eV，在分辨率方面已取得優(yōu)勢。

事實(shí)上如果新型能量探測器在計(jì)數(shù)率和制造工藝的穩(wěn)定性方面能取得突破，則X熒光光譜儀有可能在未來逐步取代復(fù)雜的波長色散X熒光光譜設(shè)備，成為X熒光光譜分析領(lǐng)域的主流。

X熒光光譜儀的構(gòu)造