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HidenEQP等離子體表征分析儀是一臺結(jié)合質(zhì)量和能量分析的儀器，用于分析等離子體中正、負(fù)離子、中性粒子以及自由基的種類和能量分布
三級過濾四極質(zhì)譜儀PIC是帶脈沖離子計數(shù)檢測器的3F質(zhì)譜儀，具有高靈敏度，HidenIDP是三級過濾質(zhì)譜/能量分析儀，用于研究ESD、PSD
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