塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司
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閱讀：92發(fā)布時(shí)間：2024-9-30
常壓CVD裝置
準(zhǔn)備了滿足顧客需求的產(chǎn)品陣容。同時(shí)，定做也對(duì)應(yīng)。
＜產(chǎn)品特征＞
對(duì)應(yīng)于半導(dǎo)體制造用、太陽能電池制造用等各種用途
從少量生產(chǎn)到大量生產(chǎn)
形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各種膜種
采用SiC托盤防止重金屬污染，從低溫（200℃）到中溫（500℃）區(qū)域可以廣泛成膜
A200V 單片式常壓CVD裝置
AMAX800V
8英寸連續(xù)式量產(chǎn)用常壓CVD裝置
AMAX1200
12英寸連續(xù)式量產(chǎn)用常壓CVD裝置
A6300S
小口徑晶圓連續(xù)式量產(chǎn)用常壓CVD裝置
定制裝置
D501
間歇式常壓CVD裝置
太陽能電池用裝置
AMAX1000S
125mm/156mm太陽能電池量產(chǎn)用連續(xù)式常壓CVD裝置
玻璃基板成膜裝置
對(duì)應(yīng)FPD等剛性/撓性器件的常壓CVD裝置
儀表網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
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