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日本tokkyokiki特許機(jī)器株式會(huì)社-半導(dǎo)體減振設(shè)備

閱讀：64發(fā)布時(shí)間：2024-9-28

日本tokkyokiki特許機(jī)器株式會(huì)社-半導(dǎo)體減振設(shè)備


氣浮式隔振桌 EHS/DHS/DAS/SRD/SVD


日本tokkyokiki特許機(jī)器在以半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為代表的超精密加工領(lǐng)域，制造、檢查、測(cè)試的精度已進(jìn)入了納米和埃米量級(jí)。準(zhǔn)確的把握住時(shí)代需求，OS氣浮式隔振桌系列為微納振動(dòng)提供隔振空間。
我們擁有豐富的產(chǎn)品系列，可對(duì)應(yīng)與半導(dǎo)體、液晶玻璃基板大口徑化、基板大型化相關(guān)的檢查設(shè)備大型化、重型化。
與制造檢驗(yàn)生產(chǎn)線相匹配的簡(jiǎn)約設(shè)計(jì)，各種選項(xiàng)配件，可**的構(gòu)成整個(gè)系統(tǒng)。

日本tokkyokiki特許機(jī)器——隔振桌EHS滿足超精密檢查/測(cè)試儀器隔振需求的高性能隔振桌
日本tokkyokiki特許機(jī)器——隔振桌DHS
DHS系列是EHS系列產(chǎn)品上裝有蓋罩的型號(hào)。操作時(shí)可不必?fù)?dān)心碰到上浮部件。
日本tokkyokiki特許機(jī)器——隔振桌DAS光學(xué)顯微鏡/粗糙度儀等　也可適用于大載荷
日本tokkyokiki特許機(jī)器——隔振桌SRD/SVD顯微鏡/粗糙度儀等　簡(jiǎn)單放置



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