半導(dǎo)體8寸，128寸ET4000臺階儀日本KOSAKA小坂微細形狀測定機
半導(dǎo)體8寸，128寸ET4000臺階儀日本KOSAKA小坂微細形狀測定機商品描述
株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。
產(chǎn)品概述：
● 高精度．安定性．機能性**適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。
● 是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。
● ET4000L一對應(yīng)大型工件的全自動微細形狀測定機。
● ET4300一適合12"樣品測量。
●各機型詳細參數(shù)請與區(qū)域銷售聯(lián)系。
臺階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)
*大試片尺寸重現(xiàn)性測定范圍分解能測定力
210×210mm~300×400mm
1σ 0.5nm以內(nèi)
Z:100um X:100～305mm (Y移動量:150~400mm)
Z:0.1nm X:0.1um
0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)
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