四川萊峰流體生產(chǎn)的LF485系列的數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，目前可選的通訊方式為：RS485 MODBUS RTU協(xié)議和RS232通訊兩種方式，數(shù)字通訊的氣體質(zhì)量流量控制器常規(guī)耐壓可達(dá)3Mpa，也可選10Mpa。LF系列的氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)主要用于：擴(kuò)散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)等制造設(shè)備中，并廣泛應(yīng)用于石油化工、制藥、冶金等行業(yè)。
數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì),包括流量計(jì)傳感器、流量比例閥門,目前市面上的熱式氣體質(zhì)量流量控制器種類復(fù)雜繁多，有毛細(xì)管傳熱的、芯片式傳熱的流量控制器區(qū)別。本公司生產(chǎn)的熱式氣體質(zhì)量流量控制器的傳感器均采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度和壓力補(bǔ)償），精度等級高，響應(yīng)速度快，質(zhì)量流量測量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)通道采用的材料為：SUS 316L、氟橡膠、丁晴等耐腐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄漏、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強(qiáng)腐蝕性氣體或有機(jī)溶劑氣體時(shí)，應(yīng)在訂貨時(shí)聲明，使用的特殊腐蝕性氣體，所有的密封材料都要做相應(yīng)的改變。
LF485-S系列的氣體質(zhì)量流量控制器，可以測量的范圍從2毫升每分鐘——30升每分鐘；LF485-B系列的氣體質(zhì)量流量控制器可以測量的范圍從30升每分鐘——300升每分鐘；LF2000-D系列的氣體質(zhì)量流量控制器可以測量的范圍是300——3000升每分鐘。
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