LF420-SC系列的氣體質(zhì)量流量控制器，帶控制調(diào)節(jié)功能的產(chǎn)品可以做到3毫升每分鐘，最小的控制量為能精確的控制在0.5毫升每分鐘；只有檢測功能的質(zhì)量流量計，可以做到2毫升每分鐘，最小的檢測范圍能準(zhǔn)確的檢測在0.2毫升每分鐘，是目前國產(chǎn)中一種極其微小的測控產(chǎn)品。
固廢處理，全稱固體廢棄物的處理，通常是指物理、化學(xué)、生物、物化及生化方法把固體廢物轉(zhuǎn)化為適于運(yùn)輸、貯存、利用或處置的過程，固體廢棄物處理的目標(biāo)是無害化、減量化、資源化。固體廢物是“三廢"中最難處置的一種，因?yàn)樗械某煞菹喈?dāng)復(fù)雜，其物理性狀（體積、流動性、均勻性、粉碎程度、水份、熱值等）也千變?nèi)f化，要達(dá)到上述“無害化、減量化、資源化"目標(biāo)會遇到相當(dāng)大的麻煩，一般防治固體廢物污染方法首先是要控制其產(chǎn)生量。
LF420-SC系列的微小量程的熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計由質(zhì)量流量傳感器，分流器通道，流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。熱式氣體質(zhì)量流量控制器/流量計利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳遞分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計。采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，通過閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
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