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配氣儀、混氣儀、氣體濃度配比裝置他的功能都是實現(xiàn)多組分氣體的混合輸出,叫法不一樣,但是工藝原理都是一樣的。都是利用高精度氣體質量流量控制器對每組份氣體進行精密控制流量實現(xiàn)不同濃度的配比,達到測量和控制范圍50倍、500倍、1000倍、至10000倍的稀釋范圍。其核心目標是實現(xiàn)高精度、穩(wěn)定、可重復的氣體混合。

LFIX混氣儀通過質量流量控制器(MFC)或比例閥控制多組分氣體流量,實現(xiàn)ppm至百分比級濃度混合。氣體混配器支持程序化調節(jié)濃度、流量,部分設備可聯(lián)網遠程操作。能實時監(jiān)測并存儲濃度、流量、壓力等參數(shù)。采用質量流量控制原理:由質量流量傳感器、熱式原件、質 量流量調節(jié)閥和壓力檢測組件等組成,它利用體混配器的流動的流體不同的流量 效應而制成,其原理是采用量熱法原理測量氣體的質量流量,并分別 控制各自氣體的流量,進入混合器進行精密混合,將混合后的氣體按 需輸出給用氣點,同時設備自帶多種測量原件對氣體進行檢測,保證 混合的精確性。

LFIX混氣儀能 準確可靠的測量和控制氣體質量流量,測量和控制精度高、零飄 小,測量和控制范圍寬,測量和控制的準確度不受環(huán)境溫度和外界壓 力的影響,廣泛的應用于真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學化工 實驗設備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力、傳感器研究等各領域.
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