含氟氣體流量計｜耐腐蝕氟氣介質流量測量儀表 - 多欽儀表

多欽儀表含氟氣體流量計，接觸介質部件選用哈氏合金、蒙乃爾、PTFE 等耐氟防腐材質，適配四氟化碳、氟化qing等含氟氣體 流量計量，支持 RS485 通訊，防爆可選，用于半導體、化工含氟工藝管道監(jiān)測。

產品概述

 多欽儀表含氟氣體 流量計，針對含氟類腐蝕性氣體介質研發(fā)，適配四氟化碳、氟化qing、六氟化鎢等工藝氣體。介質接觸部分采用耐氟特種合金或氟塑料內襯，抵御含氟介質腐蝕，保障儀表長期穩(wěn)定運行。

儀表類型包含熱式氣體質量流量計、渦街流量計，可根據介質腐蝕程度、管徑大小選型，具備就地液晶顯示功能，支持 4-20mA、RS485-Modbus 信號輸出，可接入 PLC、DCS 系統(tǒng)完成流量數據采集與累積計量，多用于半導體刻蝕、精細化工含氟工藝管線。

工作原理 

熱式氣體質量流量計采用熱擴散傳感原理，直接測量氣體質量流量，無需額外溫壓補償，低流速下測量穩(wěn)定，適合小流量含氟工藝氣體計量。 

渦街流量計基于卡門渦街原理，檢測旋渦頻率換算工況體積流量，可選配一體化溫壓補償模塊，自動換算標況流量，適配中等管徑、流量穩(wěn)定的含氟氣體管道。

產品特點 

介質接觸件選用哈氏合金、蒙乃爾合金、PTFE 內襯等耐氟防腐材料，抵抗含氟氣體腐蝕。 

支持數字通訊與模擬量雙信號輸出，RS485-Modbus 可實現多臺儀表總線組網。 

可選一體化溫壓補償模塊，修正氣體溫度壓力波動帶來的測量誤差。 

防爆版本可選，ExdⅡBT4 防爆等級，匹配化工、半導體防爆工藝區(qū)域。 

無機械轉動部件，運行磨損小，減少介質腐蝕帶來的部件損壞風險。 

液晶就地顯示，可查看瞬時流量、累積流量、溫度壓力參數。 

多種連接方式，法蘭、卡箍可選，可根據工藝潔凈等級定制。

材質與選型說明 

強腐蝕含氟氣體工況，優(yōu)先選用哈氏合金或蒙乃爾合金傳感探頭。 

弱腐蝕含氟氣體，可選用 PTFE 內襯結構。

 DN4-DN50 小口徑工藝管線，半導體刻蝕微量含氟氣體，優(yōu)先熱式氣體質量流量計。 

DN15-DN300 中等管徑，流量穩(wěn)定的含氟氣體主管，選用防腐型渦街流量計搭配溫壓補償。 

介質含粉塵顆粒的工況，選型時增加前置過濾保護裝置。

技術參數 

測量介質：四氟化碳，氟化qing，六氟化鎢等各類含氟腐蝕性氣體 

公稱口徑：DN4～DN300

 精度等級：±1.0% FS~±1.5% FS 

介質溫度：-40℃～200℃ 

工作壓力：PN16，高壓版本支持定制 

供電電源：DC24V 

通訊方式：RS485 Modbus-RTU，可選 4-20mA 輸出 

防護等級：IP65顯示功能：液晶顯示屏，瞬時流量，累積流量，溫度壓力 

連接方式：法蘭連接，卡箍快裝

應用場景 

半導體制造刻蝕工藝含氟氣體流量監(jiān)測。 

精細化工氟化工藝管道氣體計量。 

特種材料表面處理含氟工藝氣用量統(tǒng)計。

 實驗室含氟氣體供氣管路流量采集。 

尾氣處理前端含氟工藝氣體流量檢測。

FAQ 

問題 1，含氟氣體 流量計能不能用普通不銹鋼材質。 

回答，普通 304/316L 不銹鋼不耐含氟氣體腐蝕，介質接觸部位必須選用哈氏合金、蒙乃爾或 PTFE 防腐材質，否則傳感器會快速損壞。

問題 2，含氟氣體介質壓力波動大，選哪類儀表。

 回答，推薦熱式氣體質量流量計，直接測量質量流量，壓力波動對測量結果影響較小。

問題 3，含氟氣體含有固體微粒，怎么保護流量計。 

回答，建議在流量計上游管路加裝耐腐蝕過濾器，過濾固體雜質，防止雜質沖刷、損傷傳感器。