微流量氣體質(zhì)量流量計(jì) 多欽儀表(上海)有限公司選型推薦
產(chǎn)品標(biāo)題
MEMS 微流量熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) DN3/DN6/DN8/DN10 超微量氣體精密計(jì)量 免溫壓補(bǔ)償
一、產(chǎn)品簡介
二、核心賣點(diǎn)
超微量測量靈敏度
可測 0.001L/min(sccm 級)微氣流,解決傳統(tǒng)儀表小流量漂移、檢測盲區(qū)問題,微小泄漏、微量供氣均可穩(wěn)定捕捉。
MEMS 高精度傳感
±0.5%~±1.0% FS 測量精度,重復(fù)性≤±0.2% FS,內(nèi)置溫度自補(bǔ)償算法,抑制環(huán)境溫差造成零點(diǎn)漂移。
免溫壓補(bǔ)償直測質(zhì)量流量
熱式恒溫差原理,直接輸出標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量,無需搭配溫度、壓力變送器,簡化整套氣路控制系統(tǒng)。
直通式低阻無壓損
內(nèi)部無節(jié)流、無阻擋結(jié)構(gòu),氣流通過阻力極小,不會干擾原有微量氣路壓力平衡,適配低壓微流量管線。
多口徑微型適配
DN3/DN6/DN8/DN10 小口徑全覆蓋,卡套 / 標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)螺紋兩種連接,適配毛細(xì)管、微型試驗(yàn)管路狹小安裝空間。
毫秒級快速響應(yīng)
T98 響應(yīng)時(shí)間≤100ms,可實(shí)時(shí)追蹤動態(tài)微量氣流變化,適配氣體配比、瞬態(tài)泄漏監(jiān)測工況。
多信號智能輸出
標(biāo)配 4-20mA 模擬量、RS485 Modbus-RTU 數(shù)字通訊,可選脈沖流量累積輸出,無縫對接 PLC、工控機(jī)、數(shù)據(jù)采集儀。
防爆 / 工業(yè)雙版本可選
標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)款 IP65 防護(hù);可選本安防爆 Ex ia ⅡC T4,適配氫氣、甲烷等易燃易爆微量氣體測量。
三、完整技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù)項(xiàng)目 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 |
|---|---|
| 測量原理 | MEMS 熱擴(kuò)散恒溫差式質(zhì)量流量傳感 |
| 公稱通徑 | DN3、DN6、DN8、DN10(微型小管徑) |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | DN3:0.005~5L/min;DN6:0.01~10L/min;DN8:0.05~50L/min;DN10:0.1~100L/min等 |
| 精度等級 | 標(biāo)準(zhǔn) ±1.0% FS;高精度定制 ±0.5% FS |
| 重復(fù)性 | ≤±0.2%FS |
| 量程比 | 1:100 寬量程,微量到大流量一臺覆蓋 |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤100ms(可軟件調(diào)節(jié)延時(shí)) |
| 適用介質(zhì) | 空氣、氮?dú)狻⒀鯕?、氫氣、氬氣、CO?、氦氣等潔凈干燥無腐蝕氣體 |
| 介質(zhì)溫度 | -20℃~+60℃,寬溫定制 - 40~120℃ |
| 工作壓力 | 0~1.6MPa,高壓定制最高 3MPa |
| 接口形式 | G1/8、G1/4 內(nèi)螺紋;不銹鋼雙卡套(適配毛細(xì)管) |
| 接液材質(zhì) | 316L 不銹鋼,防腐無吸附,適配高純氣體 |
| 供電電源 | DC12~24V 寬電壓,功耗≤5W |
| 顯示配置 | LCD 背光數(shù)顯,同時(shí)展示瞬時(shí)流量、累積總量、介質(zhì)溫度、故障報(bào)警 |
| 輸出信號 | 4-20mA、RS485 Modbus-RTU、脈沖(三選一或多選) |
| 防護(hù)等級 | 標(biāo)準(zhǔn) IP65 |
| 防爆規(guī)格 | 可選本安防爆 Ex ia ⅡC T4 Ga |
| 安裝方式 | 水平、垂直、傾斜任意角度安裝,不受重力影響 |
四、產(chǎn)品優(yōu)勢
解決微流量測量痛點(diǎn)
傳統(tǒng)浮子、孔板流量計(jì)在低流速下存在測量盲區(qū)、精度差;本產(chǎn)品芯片靈敏度高,零點(diǎn)穩(wěn)定,極小氣流也能精準(zhǔn)讀數(shù)。
系統(tǒng)集成成本更低
無需配套溫壓補(bǔ)償元件,單臺儀表即可輸出標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量數(shù)據(jù),減少管線配件、布線、編程工作量。
體積小巧易集成
整機(jī)尺寸緊湊,可嵌入實(shí)驗(yàn)設(shè)備、分析儀器、小型自動化設(shè)備內(nèi)部,不占用實(shí)驗(yàn)臺 / 機(jī)柜空間。
長期低維護(hù)
無葉輪、無彈簧等活動易損件,直通流道不易積灰堵塞,僅需每年一次簡易吹掃校準(zhǔn),運(yùn)維成本低。
高純氣體適配
316L 不銹鋼流道無橡膠吸附層,不會污染特種高純工藝氣體,滿足半導(dǎo)體、生化實(shí)驗(yàn)室潔凈要求。
五、典型應(yīng)用場景
實(shí)驗(yàn)室科研
微量氣體配比、催化反應(yīng)氣路、微量氣體標(biāo)定、熱重 / 質(zhì)譜配套載氣計(jì)量;
半導(dǎo)體 & 光伏
CVD/PVD 微量工藝保護(hù)氣、特種硅烷 / 磷化氫微量供氣監(jiān)測、晶圓吹掃氣計(jì)量;
分析檢測儀器
氣相色譜 GC、質(zhì)譜儀微量載氣控制、尾氣微量成分流量采集;
新能源氫能
燃料電池微量氫氣供給、氫燃料電池臺架微量配氣、氫氣管路微泄漏監(jiān)測;
生物醫(yī)藥
細(xì)胞發(fā)酵微量供氧、生物反應(yīng)器 CO?微量補(bǔ)充、醫(yī)用制氧機(jī)微小流量監(jiān)測;
氣密性檢測
電池殼體、精密零部件微小泄漏定量檢測,判定微量漏氣量;
工業(yè)自動化
設(shè)備氮?dú)馕⒘看祾?、微型氣動保護(hù)氣、小型產(chǎn)線微量工藝氣在線監(jiān)控。
六、安裝與使用說明
流向要求:按照閥體表面 “FLOW” 箭頭安裝,介質(zhì)流向與標(biāo)識保持一致;
直管段要求:微小流量工況放寬,上游≥3DN、下游≥2DN 即可,無需長直管;
介質(zhì)預(yù)處理:氣體必須干燥無油、無固體粉塵,上游加裝 5μm 微型過濾器,保護(hù) MEMS 傳感芯片;
電氣接線:通訊信號線采用雙屏蔽線纜,遠(yuǎn)離變頻器、大功率電機(jī),單獨(dú)接地降低電磁干擾;
零點(diǎn)校準(zhǔn):儀表支持一鍵自動空管零點(diǎn)校準(zhǔn),無需拆卸管路,長期使用定期校準(zhǔn)保證精度。
七、售后保障
整機(jī)質(zhì)保 2 年,每臺出廠均經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)氣體實(shí)流標(biāo)定,附帶校準(zhǔn)證書、產(chǎn)品合格證;
免費(fèi)提供選型方案、氣路布局指導(dǎo)、現(xiàn)場參數(shù)調(diào)試;
支持非標(biāo)量程、特殊介質(zhì)標(biāo)定、高壓、高溫、防爆、衛(wèi)生級定制;
終身提供流量校準(zhǔn)、故障檢修、軟件參數(shù)修改技術(shù)服務(wù)。












































白沙|
璧山县|
凤阳县|
社会|
舞钢市|
景泰县|
偃师市|
镇康县|
垣曲县|
怀宁县|
烟台市|
凭祥市|
大新县|
嘉鱼县|
紫金县|
广昌县|
桦川县|
日照市|
合肥市|
桑植县|
云霄县|
龙江县|
鄂尔多斯市|
奇台县|
仁布县|
乳山市|
赞皇县|
和硕县|
河源市|
同江市|
巩留县|
邵阳县|
松阳县|
民乐县|
克东县|
府谷县|
潍坊市|
昌吉市|
福清市|
榆中县|
公安县|