規(guī)格
形式    SCV-155M    SCV-510M    SCV-514M
高峰試驗電壓 [kVp]    15    5    5
靜電容量[pF]    50-500    50-1000    90-1400
RF動作電壓 [kVp]    9a    3    3
直線可變性 (pF/N)    42±4
(65pF 以上)    88±6
(80pF 以上)    115±8
(150pF 以上)
轉速（回）    12±1    12±1    12±1
zui大容許電流 [Arms]
(at 13.56MHz)    100    100    100
回轉轉矩（N?cm）
(kgf?cm)    24.5
2.5    24.5
2.5    24.5
2.5
重量（kg）
尺寸（長度×直徑） (mm)
    1.3
140×φ73    1.35
140×φ73    1.4
140×φ73

明電舍(MEIDENSHA)真空電容器 MEIVAC
MEIVAC真空電容器系列，是基于明電舍的真空技術而開發(fā)的一種真空電容器。
真空電容器有以下用途
1 作為半導體薄膜制造設備的阻抗整合器
2 通信器材的發(fā)報線路，同調回路
3 誘電加熱設備的共振回路
4 各種高頻率電源的電壓增幅回路
近年來，由于半導體產業(yè)的發(fā)展，真空電容器的用途擴大至CVD，蝕刻，滴濺設備等半導體薄膜制造設備阻抗整合應用領域。
 
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明電舍(MEIDENSHA)真空可變電容器
真空可變電容器是通過移動真空容器內的電極而實現靜電容量的變化的電容器。
除了了裝置115MM標準的型號，還搭載了耐高壓特殊電極的黃金型號，同時通過風箱構造以及增強材質的大電流低扭矩型（H系列）。

明電舍(MEIDENSHA)標準型特點 
1 壽命長
  采用高強度的不銹鋼風箱，實現可變范圍二分之一以下的風箱壽命達100萬循環(huán)。同時通過高強度特殊螺釘構造，在可變范圍二分之一的情況下實現總回轉數1000萬以上的長壽命。
2微型化
  陶瓷中心栓與外圍共振器一體化從而是微型化得以實現。
  統(tǒng)一設為全長140MM（裝置標準115MM），容易實現機器安裝時的可更換性。 
 
明電舍(MEIDENSHA)強電流低扭矩型特點 
    強電流通電
    風扇采用銅合金新材料，可以實現強電流通電。（強電流規(guī)格：空冷110Arms、130Arms、150Arms、160Arms)
    低扭矩
    H系列內部構造得到改良，小于18N.cm的低扭矩使得驅動馬達的微型化得以實現。
    長壽命
    采用高強度不銹鋼風箱，通過可變范圍二分之一以下的風箱壽命100萬回轉，以及高強度特殊螺釘構造，能夠實現可變范圍二分之一的總回轉達到1500萬以上的超長壽命。
 
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明電舍(MEIDENSHA)真空固定電容器
 
真空固定電容器的誘導體為真空，使用損耗較低的陶瓷作為絕緣體，*的抑制了損耗系數。從而使電容器即實現了微型化，又能耐高壓和承受*電流。
特點
  耐高壓
  由于絕緣體是真空，絕緣體能承受很高的電壓，即使在高電壓回路中也安然無恙。
  低損耗
  真空誘電體能*降低損耗。誘電體的損害只出現在構成真空容器的電容器兩端的絕緣陶瓷以及導航用陶瓷。
  微型化
  通過采用耐高壓的特殊電極實現微型化。

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