AL110/MX61
自動晶圓搬送機/200mm,半導(dǎo)體檢查顯微鏡
●用于100mm/125mm/150mm晶圓搬送及檢查（AL110-8）
●.用于200mm晶圓搬送機檢查,200/150mm晶圓交替檢查可能（AL110-8）
●非接觸式對中方式,潔凈度提高,減少晶圓污染的可能性
●靈活的程式設(shè)計,zui短的搬送時間*的提高了生產(chǎn)效率
●AL110-12 300mm晶圓自動搬送機臺（NEW）
| 型號
項目
| 200mm型
| 200/150mm兼容性
| 100/125/150mm兼容性
| |||||||||||
| L
| LM
| LB
| MB
| LMB
| L
| LM
| LB
| MB
| LMB
| L
| LM
| LBM
| ||
|
晶圓直徑
| 150mm晶圓平邊（Flat）,200mm切口（Notch）
|
O
|
O
|
| ||||||||||
| 150mm晶圓平邊（Flat）
|
| O
|
| |||||||||||
| 100mm/125mm/150㎜, 晶圓平邊（Flat）
|
|
|
O
| |||||||||||
| 片盒
| Fluoroware,H-bar型
| O
| ||||||||||||
| 片盒數(shù)量
| 1
| O
| ||||||||||||
| 觀察方法
| 連續(xù)和采樣
| O
| ||||||||||||
|
轉(zhuǎn)換方式
| 正面宏觀檢測
| O
| O
| O
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| O
| O
| O
| O
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| O
| O
| O
| O
|
| 背面宏觀檢測
|
| O
|
| O
| O
|
| O
|
| O
| O
|
| O
| O
| |
| 2次背面檢測
|
|
| O
| O
| O
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|
| O
| O
| O
|
|
| O
| |
| 表面顯微觀測
|
|
| O
| O
| O
|
|
| O
| O
| O
|
|
| O
| |
| 定位平邊（Flat）,切口（Notch）校準(zhǔn)
|
每90°一次
|
O
| ||||||||||||
| 非接觸對中
| O
| |||||||||||||
|
轉(zhuǎn)移晶圓
| 帶真空吸附功能的自動機械臂
|
O
| ||||||||||||
| 可使用顯微鏡*2
|
MX61/MX61L型
| O
| ||||||||||||
| 規(guī)格（mm）
| 580（W）×580（D） ×297（H）
| 490（W）×520（D） ×297（H）
| ||||||||||||
| 重量（kg）
| 30
| 32
| 31
| 31
| 33
| 30
| 32
| 31
| 31
| 33
| 26
| 28
| 30
| |
| 能耗
| 電源;: AC100- 120V0.90A, 或AC200-240V0.55A 50/60Hz, 真空壓力; -67kPa～-80 kPa
| |||||||||||||
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