PALL UltiKleen™ G2 Excellar ER Filters
產(chǎn)品介紹
頗爾UltiKleen G2 Excellar ER濾波器增強的保留率(ER)和改善了的不脫濕性的屬性已啟用,滿足半導(dǎo)體制造商化學(xué)工藝過濾要求超過45納米制造節(jié)點的關(guān)鍵。獨特的設(shè)計關(guān)鍵,單次使用點過濾,高流量的過濾器使其特別適用于再循環(huán)浴應(yīng)用。
UltiKleen G2 Excellar ER濾料采用Pall 's專有的分子表面裁剪(MST)技術(shù);賦予聚四氟乙烯膜不脫濕的特性,無需在介質(zhì)表面添加化學(xué)層。內(nèi)膜上,提供了顯著的超細(xì)孔基質(zhì),提高顆粒的保留到20納米的尺寸。
結(jié)果是一個的,可靠的,化學(xué)清潔的過濾器,適用于侵略性高溫清洗化學(xué),包括水化學(xué),如熱SPM,SC-1和SC-2。
Me-KleenSM后調(diào)理工藝選項減少可提取總金屬離子到低個位數(shù)PPB值。
?增強顆粒的保留(ER)
?堅固的不脫濕PTFE介質(zhì)
?高流速
?超細(xì)多孔介質(zhì)基質(zhì)設(shè)計
?所有超高純度含氟聚合物結(jié)構(gòu)
?低萃取物(<30 ppb1總在5%的HCl提取1.5要24小時)
?提供預(yù)濕與全填充2 UPW包裝作為標(biāo)準(zhǔn)
?99%完整性測試
?超低金屬離子Me-Kleen選項
產(chǎn)品規(guī)格
建筑材料
過濾介質(zhì):表面改性聚四氟乙烯
介質(zhì)支持:PFA/PTFE
內(nèi)芯:PFA
外網(wǎng)罩:PFA
端蓋母:PFA
殼體:PFA
o型圈選項:包封FEP的氟橡膠,Kalrez3和Chemraz4
1 . 13種元素的金屬總濃度:Li、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、
Ni, Cu, Zn, Pb。
2 .包裝充滿超純水。
3.Kalrez是E.I.杜邦·德·內(nèi)穆爾公司的商標(biāo)。
4.Chemraz是Green, Tweed & Co.的商標(biāo)。
產(chǎn)品名稱 | UltiKleen™ G2 Excellar ER Filters
| UltiKleen G2 Excellar ER KC Assemblies |
去除率 | 20nm | 20nm |
配置 | ABFG1 ABFG2 ABFG3 | T-flow, In-line, L-flow (10 in) |
過濾面積 | 1.9m2/20.5ft2 3.8m2/40.1ft2 5.4m2/61.5ft2 | 1.9m2/20.5ft2 |
*高操作溫度 | 170℃/388℉ | 170℃/388℉ |
*高操作壓力 | 0.59 MPaG (85.6 psig) @ 50 oC / 120 oF | 0.5 MPaG (73 psig) @ 25 oC (77 oF) 0.4 MPaG (58 psig) @ 60 oC (140 oF) 0.35 MPaG (51 psig) @ 90 oC (194 oF) 0.20 MPaG (29 psig) @ 120 oC (248 oF) 0.15 MPaG (22 psig) @ 150 oC (302 oF) 0.12 MPaG (17 psig) @ 170 oC (338 oF) |
訂貨信息 - UltiKleen G2 Excellar ER Filters
Pall Part Number = ABFG 1 GPK 3EH1 2
表格1 表格2
代碼 | 標(biāo)準(zhǔn)長度(mm/in) |
1 | 244/10 |
2 | 478/20 |
3 | 726/30 |
代碼 | 預(yù)濕選項 |
-K3 | 預(yù)濕過濾器(包裝在去離子水中) |
-K7 | 預(yù)濕過濾器(包裝在去離子水中)、低金屬可溶出物5 |
表格2
訂貨信息 - UltiKleen G2 Excellar ER KC Assemblies
表格1 表格2
代碼 | 標(biāo)準(zhǔn)長度(mm/in) |
G | N/A |
V | 可用 |
代碼 | 標(biāo)準(zhǔn)長度(mm/in) |
T | T型流動 |
N | 直列式 |
L | L型流動 |
表格3
代碼 | 進(jìn)口、出口 | 通氣口/排液口 頭端 | 通氣口/排液口 濾筒斷 | MEMO |
12 | 3/4英寸公頭 | 1/2英寸公頭 | 1/2英寸公頭 | T型流動/L型流動 |
12 | 3/4英寸公頭 | 1/2英寸母頭 | 1/2英寸母頭 | Downstream venting-type |
12 | 3/4英寸公頭 | 3/8英寸公頭 | 3/8英寸公頭 | In-line |
124 | 3/4英寸公頭 | 1/4英寸公頭 | 1/4英寸公頭 | In-line |
128 | 3/4英寸公頭 | 1/2英寸公頭 | 1/2英寸公頭 | Downstream venting-type |
13 | 3/4英寸母頭 | 1/2英寸母頭 | 1/2英寸母頭 | T型流動 |
16 | 1英寸公頭 | 1/2英寸公頭 | 1/2英寸公頭 | T型流動 |
16 | 1英寸公頭 | 1/2英寸公頭 | 1/2英寸母頭 | Downstream venting-type |
16 | 1英寸公頭 | 3/8英寸公頭 | 3/8英寸公頭 | In-line |
164 | 1英寸公頭 | 1/4英寸公頭 | 1/4英寸公頭 | In-line |
168 | 1英寸公頭 | 1/2英寸公頭 | 1/2英寸公頭 | Downstream venting-type |
17 | 1英寸母頭 | 1/2英寸公頭 | 1/2英寸公頭 | In-line |
表格4 表格5
代碼 | 連接 |
0 | 無接頭 |
1 | 20系列(Flowell) |
2 | Super Pillar型(日本Pillar)3 |
51 | 喇叭口型 |
6 | FinalLock4 |
71 | Super Pillar 300P系列(日本Pillar) |
72 | Super Pillar 300P系列L型(日本Pillar) |
8 | 60系列(Flowell) |
9 | 11CR(Flowell) |
代碼 | 預(yù)濕選項 |
-K3 | 預(yù)濕過濾器(包裝在去離子水中) |
-K7 | 預(yù)濕過濾器(包裝在去離子水中)、低金屬可溶出物5 |
Dimensions by Configuration
In-Line | 標(biāo)準(zhǔn)長度 (L) (mm / in) | T型 | 標(biāo)準(zhǔn)長度 (L) (mm / in) | VT型 | 標(biāo)準(zhǔn)長度 (L) (mm / in) |
12E2 | 396.5/15.6 | 12E2 | 408/ 16.1 | 12E2 | 377 / 14.8 |
12E51 | 412 / 16.2 | 12E71 | 403 / 15.9 | 128E2 | 385 / 15.2 |
124E51 | 412 / 16.2 | 13E0 | 495 / 19.5 | 12E71/72 | 377 / 14.8 |
16E8 | 428 / 16.9 | 13E1 | 432 / 17 | 128E71/72 | 402 / 15.8 |
16E51 | 436 / 17.2 | 13E2 | 442 / 17.4 | 13E1 | 445 / 17.5 |
17E0 | 448 / 17.6 | 13E6 | 416 / 16.4 | 13E51 | 444 / 17.4 |
17E1 | 445 / 17.7 | 13E9 | 433 / 17.1 | 168E71/72 | 403 / 15.9 |
17E51 | 442 / 17.4 | 13E51 | 473 / 18.6 | ||
17E71 | 462 / 18.2 | 13E71 | 444 / 17.5 | ||
L型 | VL型 | ||||
12E2 | 408/ 16.1 | 12E2 | 440 / 17.35 |

































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