kSA SpectR 光譜反射率測量設備是一種用于測量光譜反射率，L*a*b*成色值和生長速率的非接觸式測量設備。該工具具有多種在線監(jiān)控和過程控制的應用功能，包括垂直腔表面發(fā)射激光器（VCSEL），分布式布拉格反射器（DBR）和其他一些復雜的設備結構。該設備主要應用于監(jiān)控測量sputtering，MBE和MOCVD等薄膜生產研究。

kSA SpectR的光學鏡組被配置為鏡面反射的幾何形狀。k-Space采用的該測量技術源自于美國Sandia國家實驗室，并得到了實驗室的使用。在這種測量原理中，薄膜每生長出一個新layer，程序就會自動擬合，將已有的所有基底和薄膜layer視為一個新的虛擬基底。kSA SpectR可以同時以多個波長進行測量，每個波長都具有潛在的獨特優(yōu)勢。此工具可在任意客戶選定的波長范圍內輕松測量自定義光譜特征，如反射率的最小值、值、拐點或基線散射水平。

測量實例