精密級(jí)轉(zhuǎn)臺(tái)
PILine®平臺(tái)尤其適合要求快速精密定位的應(yīng)用。關(guān)機(jī)后,自鎖驅(qū)動(dòng)器保持平臺(tái)位置的機(jī)械穩(wěn)定。因而可大大減少能量消耗和熱量產(chǎn)生。蓄電池驅(qū)動(dòng)或熱敏型的低占空比應(yīng)用可得益于這些特點(diǎn)。軸的位置通過一個(gè)編碼器和一個(gè)光學(xué)參考開關(guān)測量,該開關(guān)允許可靠的可重復(fù)運(yùn)動(dòng)。壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)器原理及其電氣操作成本低,可定制。
PILine®超聲波壓電電機(jī)
作為PILine®超聲波壓電電機(jī)的一部分,壓電陶瓷促動(dòng)器上被施加預(yù)載,通過一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導(dǎo)向轉(zhuǎn)子。在100至200千赫茲的高頻交流電壓的作用下,壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波諧振。促動(dòng)器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運(yùn)動(dòng)。建立的進(jìn)給為幾納米每循環(huán);高頻率帶來高速度。在壓電陶瓷促動(dòng)器上相對于動(dòng)輪施加預(yù)載可確保驅(qū)動(dòng)器在靜止?fàn)顟B(tài)下和關(guān)機(jī)時(shí)自鎖。
采用增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器以的精度直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測量實(shí)際位置,因此非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對位置測量造成影響。
有效
美國號(hào)為6,765,335B2
歐洲號(hào)為1267425B1
應(yīng)用領(lǐng)域
顯微操縱、自動(dòng)化、生物科技、樣本操作、樣本定位、空間有限的應(yīng)用、光學(xué)計(jì)量,真空應(yīng)用達(dá)10-6 百帕(可選)
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|---|---|---|---|
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| 主動(dòng)軸 | θZ | ||
| 旋轉(zhuǎn)范圍 | >360 | ° | |
| 速度,閉環(huán) | 720 | 度/秒 |
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| 最小位移 | 51 | 微弧度 | 典型值 |
| 雙向重復(fù)性 | ±102 | 微弧度 | |
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| 傳感器類型 | 增量編碼器 | ||
| 傳感器分辨率 | 17 | 微弧度 | |
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| 負(fù)載能力/軸向力 | 5 | 牛 |
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| 保持力矩 | 0.03 | 牛米 |
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| 電機(jī)類型 | PILine®超聲波壓電電機(jī),性能級(jí)別1 | ||
| 順時(shí)針/逆時(shí)針驅(qū)動(dòng)力矩(θZ) | 0.025 | 牛米 |
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| 電機(jī)/傳感器 | 1×Sub-D,15-針(公) | ||
| | |||
| 參考點(diǎn)開關(guān) | 光學(xué) | ||
| 工作溫度 | 0 到 40 | °C | |
| 材料 | 鋁(黑色陽極氧化) | ||
| 質(zhì)量 | 300 | 克 | ±5 % |
| 電纜長度 | 1.5 | 米 | 典型值 |


































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