空氣分子污染物(AMC)對于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素，會導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。

無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo)，通過污染物源頭控制、傳播控制，實時監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實現(xiàn)，持久監(jiān)測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。

阿瑞斯-μVOC提供給客戶一個實時快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案，不需要采樣，離線測量。

檢測限達到sub-ppb級

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護修理時散發(fā)等，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物,以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

一旦AMC空氣分子污染物超標(biāo)會引起一系列嚴(yán)重后果，比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。

空氣分子污染物問題：從潔凈間到生產(chǎn)機臺加工

隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加，空氣分子污染物AMC的監(jiān)測變得越來越重要。

污染物從加工到超凈間的擴散,并且成份的增加，分子污染物來自多個源頭,比如生產(chǎn)化學(xué)藥劑、建筑材料、潔凈間設(shè)備裝置、操作人員等。

阿瑞斯-μVOC系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問題和減少污染問題之間的關(guān)聯(lián)，完整的全量程全組份實時sub-ppb級測量，提供早期AMC監(jiān)測和快速確定這些污染問題的原因。

空氣分子污染物MC監(jiān)測系統(tǒng) 亮點

一般特點：

在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測全部自動化系統(tǒng)

低濃度VOC監(jiān)測

獨立分開測量有機物成份

Sub-ppb檢測限

集成計算機和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能

應(yīng)用

潔凈間污染物監(jiān)測

過濾器狀態(tài)監(jiān)測

加工過程全組份測量診斷污染物

通過成份形成跟蹤污染物源頭

許多生產(chǎn)過程化學(xué)藥劑成為污染物的源頭，NH3因光刻工藝過程而最為著名。六甲基二硅胺烷（HMDS）又分解成三甲基硅醇和NH3,等等很多類似的化學(xué)藥劑的分解與釋放,都造成AMC的增加。而實時迅速測量這些成份濃度的阿瑞斯-μVOC系統(tǒng)可以跟蹤污染物形成的時間和路線。

圖1.操作界面

污染物交叉干擾是另一個潔凈室控制的難題，事實上，由于潔凈室內(nèi)部氣體循環(huán)，一個工藝段上的必須用的藥劑或溶劑有可能成為另一個不同工藝段的危害物或污染物。多虧阿瑞斯-μvoc系統(tǒng)多組份低濃度測量能力，為潔凈室交叉干擾難題提供了絕好的解決方案。

圖2.色譜流程圖

實時監(jiān)測過濾器狀態(tài)

在新風(fēng)空調(diào)箱（MUA）、高效過濾器（FFU）、生產(chǎn)機臺上方SWIF下方安裝化學(xué)過濾器，實際生產(chǎn)過程中過濾器的維護和更換，如果太早或者太遲都會引起產(chǎn)品成本的增加和效率的降低，甚至大的生產(chǎn)事故，停產(chǎn)。

帶有16通道的阿瑞斯-μVOC系統(tǒng)可以監(jiān)測過濾器的上下游空氣分子污染物AMC濃度，當(dāng)進來的氣體不符合過濾標(biāo)準(zhǔn)時采樣點位于進風(fēng)系統(tǒng)上游；當(dāng)吸收能力耗盡時采樣點位于下游。

過程生產(chǎn)工具

阿瑞斯-μVOC系統(tǒng)專為連續(xù)監(jiān)測、無人值守操作設(shè)計，是專業(yè)的過程分析工具，16通道采樣點可以通過設(shè)置自動進樣進行分析，每個通道都有報警設(shè)置功能，移動式使用功能使阿瑞斯-μVOC系統(tǒng)成為診斷空氣分子污染物AMC的理想工具。

板載標(biāo)定功能,匹配嚴(yán)格的質(zhì)量控制規(guī)則。

實時顯示測量結(jié)果，無計算運行。

標(biāo)配，給提供客戶遠程聯(lián)網(wǎng)技術(shù)支持服務(wù)。

工作原理

GC氣相色譜是分離多種復(fù)雜混合物常用的技術(shù)，這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。

當(dāng)不同的揮發(fā)性有機物從色譜柱分離岀來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導(dǎo)率的變化，從而確定不同組份的濃度，獨特的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達到sub-ppb檢測限。

特性