用此法制得的氣體是一種良好的保護氣體，可以廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)，冶金工業(yè)，以及需用保護氣氛的其它工業(yè)和科學(xué)研究中。
氨分解制取保護氣體，在工業(yè)上是很容易實現(xiàn)的，這是因為：

濰坊市制氮機生產(chǎn)廠家
1、氨易分解：分解壓力不高，在催化劑作用下，溫度控制在800-850℃時氨可大部分解，其分解率可達99.9%。
2、氣體精制容易：作為原料的液態(tài)氨，純度是很高的，其中揮發(fā)性雜質(zhì)只有溶解在液氨中的少量惰性氣體和水分，幾乎不含氧，同時，在此條件下，氨分解是不可逆的。由此可見，氨分解后氣體經(jīng)13X分子篩床吸附可除去其中的水分，其露點達-60℃，殘氨小于5PPM即為精制的氫氮混合氣，這樣可以實現(xiàn)半導(dǎo)體工業(yè)上所不希望存在的有害的非金屬元素。如：氯和氧。
3、在我國，原料液氨容易得到，價格低廉，而且原料消耗也比較少（每公斤氨可產(chǎn)生2.5Nm3混合氣體）。
四、氨分解工藝流程：
液態(tài)氨經(jīng)減壓后經(jīng)過汽化器汽化成氣態(tài)氨（汽化器外層水套里有80℃循環(huán)水），汽化好的高壓氣氨再經(jīng)過汽化器后級減壓，然后送往熱交換器進入分解爐，分解爐內(nèi)裝有活化過的鎳觸煤，在800℃～850℃溫度下進行分解，分解后高溫氣體在熱交換器內(nèi)與氣態(tài)氨進行熱交換，此時分解氣降溫，氣氨回收熱量并升溫后進入分解爐分解，熱交換后的分解氣進入除氧器進一步除掉微量氧，然后在冷卻器內(nèi)冷卻后，進入干燥器（13X分子篩床）除去殘余水分及其它雜質(zhì)。其純度可達到如下：露點：-60℃，殘氨5PPM以下。而干燥器一般設(shè)置二臺，一臺將送入的分解氣吸附、干燥后送往使用點，另一臺取一部分干燥后的合格氣通過加熱再生（一般在250～300℃）釋放出其中的水份及殘氨，二臺交替（一臺工作一臺再生）使用從而達到重復(fù)利用的效果。
五、技術(shù)指標：
1、氨分解額定產(chǎn)氣量： 50Nm3/h (25%N2，75%H2)
2、配比裝置額定產(chǎn)氣量：50Nm3/h
3、氨分解氣體純度： 露點≤-60℃ ，殘氨≤5PPM
4、分解爐操作溫度： 800-850℃
5、分解爐額定功率: 60KW（電壓：380V，50Hz）
6、干燥器額定功率：3.6KW, 電壓220V(一組工作另一組再生或備用)
7、額定氨耗： 20Kg/h
8、氨分解工作壓力： ＜0.09MPa
9、干燥器工作溫度： 常溫
10、干燥器再生溫度： 250-300℃
11、干燥器工作周期： 24h
12、氨分解裝置重量 約4T      濰坊市制氮機生產(chǎn)廠家

 
  張經(jīng)理