傳感器方式		熱繞組傳感器
閥門方式		比例電磁閥（未通電時(shí)關(guān)閉）
目標(biāo)氣體（* 1）		N2（Air，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2）
流量范圍（* 3）		10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2）
控制范圍		2~100％（F.S.）
響應(yīng)能力（* 4）		總流量控制范圍 1sec內(nèi)（wihtin±2％F.S.）
		L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa
精度（* 5）		±1.0％SP（> 35％F.S.）， ±0.35％F.S.（≦35％F.S.）
再現(xiàn)性		±0.25%F.S.
動作壓差（* 6）		50~300 kPa（Ar、CO2：100~300 kPa）
入口壓力		500kPa(G)
耐壓		980kPa(G)
He泄漏率（* 7）		1 x 10-8 Pa·m3 / sec以下
溫度	允許周圍溫度	5～50℃
	精度保證溫度	15～35℃
	允許儲存溫度	-10～60℃
允許環(huán)境濕度		10～90%RH （無結(jié)露）
氣體接觸材料		SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼，Ni，PTFE，PCTFE，F(xiàn)KM
電氣連接		D-sub 15引腳 公頭 高密度型，HR-10A×2
流量設(shè)定信號		0~5 VDC（輸入電阻：約1MΩ）or4～20mA（輸入電阻:約250Ω）
流量輸出信號		0~5 VDC（負(fù)載電阻：10kΩ以上）or4～20mA（負(fù)載電阻:500Ω以下）
數(shù)字通信		根據(jù)RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)或顯示屏設(shè)置地址：最多99臺（9600 bps）
活動輸入		接點(diǎn)輸入×3個(gè)（非絕緣）
活動輸出		NPN開路集電極×3個(gè)（非絕緣，額定值35 V，50 mA
所需電源（DC）		+ 24VDC（±10％）300mA以下（DC插孔.D-sub）
接頭（* 8）		1 / 4F 900（標(biāo)準(zhǔn)），1/4 UJR，Rc1 / 4
安裝姿勢		推薦水平方向
重量（* 9）		約950g

（* 1）應(yīng)為干燥氣體，無腐蝕性成分，灰塵，霧氣等的干凈氣體。

（* 2）使用專用軟件，可以更改氣體類型或在指定的滿量程范圍的30％至100％（CO2的30％至80％）內(nèi)更改滿量程范圍。

（* 3）流量校準(zhǔn)單位SCCM和SLM是質(zhì)量流量在0°C和1個(gè)大氣壓狀態(tài)下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。

（* 4）校準(zhǔn)氣體：對于N2的保證。

（* 5）校準(zhǔn)氣體：對于N2、流量范圍（滿量程）的精度。

（* 6）操作壓差可能因規(guī)格而異。

（* 7）不包括滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

（* 8）如需其他接頭，請另行詢問。

（* 9）不含接頭的重量。