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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

北京空港北光儀表有限公司（原承德北光友升儀表有限公司）流量計(jì)為公司核心產(chǎn)品。公司依托多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，吸收國(guó)內(nèi)外成熟技術(shù)，選用符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的材料與成熟加工工藝，產(chǎn)品品類與規(guī)格豐富，性能穩(wěn)定可靠，可滿足多場(chǎng)景使用需求。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	進(jìn)口	加工定制	是

SFM5400是基于SFM5400氣體質(zhì)量流量控制器的無(wú)閥流量計(jì)。它具有與MFC對(duì)應(yīng)產(chǎn)品相同的性能優(yōu)勢(shì)和配置，但不提供控制器功能。

SFM5400氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品詳情

　　1.簡(jiǎn)介

　　SFM5400是基于SFM5400氣體質(zhì)量流量控制器的無(wú)閥流量計(jì)。它具有與MFC對(duì)應(yīng)產(chǎn)品相同的性能優(yōu)勢(shì)和配置，但不提供控制器功能。

　　2.工作原理

　　基于CMOSens®的SFC5400 / SFM5400通過(guò)基于熱傳遞的量熱法(calorimetric)原理測(cè)量氣體質(zhì)量流量。加熱元件位于熱絕緣薄膜上，上游和下游分別集成一組熱電堆(thermopiles) ,共兩組，全部集成在單個(gè)硅芯片上。在氣體流動(dòng)時(shí)，上游和下游的溫度分布會(huì)被擾動(dòng)。然后測(cè)量這種不對(duì)稱性。測(cè)量區(qū)域以及A/D轉(zhuǎn)換器和進(jìn)一步的信號(hào)處理基于使用CMOS標(biāo)準(zhǔn)工藝的單個(gè)芯片

　　基于MEMS的CMOSens技術(shù)實(shí)現(xiàn)了比傳統(tǒng)質(zhì)量流量控制器中的旁路毛細(xì)管直徑(0.1至0.5 mm )更大的氣體通道截面(約1.5×1 mm2 )。這種通道設(shè)計(jì)使設(shè)備對(duì)顆粒、堵塞和潮濕氣體更加穩(wěn)健。由于緊湊的單芯片設(shè)計(jì)及其安裝在金屬部件之間，基于CMOSens®的傳感器對(duì)電磁干擾(EMC)具有很強(qiáng)的抗干擾能力。

　　薄膜極小的熱質(zhì)量造就了3-4毫秒的超快傳感器響應(yīng)時(shí)間。由于放大、A/D轉(zhuǎn)換、數(shù)字線性化和溫度補(bǔ)償?shù)恼麄€(gè)設(shè)計(jì)與該傳感器速度相匹配 ,因此可以每毫秒提供一個(gè)補(bǔ)償?shù)牧髁繙y(cè)量值。結(jié)合運(yùn)行在板載微處理器上的先進(jìn)控制算法，SFC5400與傳統(tǒng)質(zhì)量流量控制器相比提供了大幅縮短的穩(wěn)定時(shí)間

　　此外，兩個(gè)溫度傳感器的特殊布置、片上溫

　　度補(bǔ)償以及噪聲源的最小化，帶來(lái)了在大動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)重復(fù)性和精度方面性能

　。得益于其的設(shè)計(jì)， SFC5400 / SFM5400質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)表現(xiàn)出零漂移性能，

　　無(wú)論環(huán)境溫度和壓力如何變化，都能精確控制/測(cè)量真實(shí)的質(zhì)量流量。
CMoSens®SFC5400 /SFM5400質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)性能

表l : CMOSens ®SFC5400 / SFM5400質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)規(guī)格概

所有數(shù)據(jù)(除非另有說(shuō)明)適用于以下校準(zhǔn)條件:溫度 20oC,氮?dú)?(N2 ),水平安裝位置(電氣連接器在頂部),底部安裝連接,對(duì)于SFC5400為3.0 bar過(guò)壓(入口: 4.0 bar絕對(duì)壓力)對(duì)大氣(出口: l.0 bar絕對(duì)壓力),對(duì)于SFM5400為<0.2 bar過(guò)壓。

規(guī)格	數(shù)值		單位
滿量程流量	0.05, 0.l, 0.2, 0.5, l, 2, 5, l0	20, 50, l00	ln/min 或 slm
精度 l 以較大者為準(zhǔn)	0.8	l	% 設(shè)定點(diǎn)2
精度 l 以較大者為準(zhǔn)	0.08	0. l	% 滿量程
重復(fù)性以較大者為準(zhǔn)	0. l	0.2	% 設(shè)定點(diǎn)
重復(fù)性以較大者為準(zhǔn)	0.0l	0.02	% 滿量程
典型穩(wěn)定時(shí)間 3	l00 (優(yōu)化版本為50) 4		ms
測(cè)量頻率	l000		Hz
控制范圍 5 / 測(cè)量范圍	優(yōu)于 l,000:l
標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)氣體	Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2	Air/N2, O2
氣體換算校準(zhǔn) 6	標(biāo)準(zhǔn): SF6 , C4F8 可按需提供其他氣體或混合物 (不兼容強(qiáng)反應(yīng)性/腐蝕性氣體,請(qǐng)參閱接液材料清單或聯(lián)系我們)

工作溫度(環(huán)境和氣體)	0 - 50 / 32 - l22		oC / oF
零點(diǎn)溫度系數(shù)	0.005		% 滿量程/ oC
量程溫度系數(shù)	0.06		% 設(shè)定點(diǎn) / oC
滿流量時(shí)壓降SFC5400 SFM5400	< 2.0 / 29 < 0. l / l.5	< 3.0 / 43 < 0.2 / 3	bar / psig
最大入口壓力 7	l0 / l45		bar / psig
最大壓差8	5 / 73	4 / 58	bar / psig
外部泄漏率 (MFC)	9 x l0_9	9 x l0_6	mbar l/s He
關(guān)閉閥門泄漏率	l x l0_6		mbar l/s He
預(yù)熱時(shí)間 9	l		sec

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn) 轉(zhuǎn)換器連接器溫度傳感器流量控制器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
EBRSL系列插入式質(zhì)量流量計(jì)	￥500	上海市	上海毅碧自動(dòng)化儀表有限公司	2026-10-09	在線詢價(jià)
半導(dǎo)體微型氣體質(zhì)量流量計(jì)庫(kù)號(hào)：M415936	￥13580	北京市	北京海富達(dá)科技有限公司	2026-10-09	在線詢價(jià)
橫河質(zhì)量流量計(jì)	面議	上海市	上海廣濟(jì)自動(dòng)化儀表有限公司	2026-10-09	在線詢價(jià)
E+H F 200科氏力質(zhì)量流量計(jì)	面議	上海	上海廣濟(jì)自動(dòng)化儀表有限公司	2026-10-09	在線詢價(jià)
用于電廠水平衡的外夾式超聲波流量計(jì) 質(zhì)量流量計(jì)	面議	上海市	上海博取儀器有限公司	2026-10-06	在線詢價(jià)
高溫介質(zhì)質(zhì)量流量計(jì)	面議	北京市	北京空港北光儀表有限公司	2026-09-28	在線詢價(jià)

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