MGDS 隔膜閥,膜片式硬密封結(jié)構(gòu),超低漏率;適用于超高純度氣體,半導(dǎo)體用(毒、腐)氣體,滿足一體化氣體分配系統(tǒng)的使用。
閥體 316L /316L(VIM+VAR)
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PCTFE
工作壓力 150psig
爆破壓力 450psig
流量系數(shù) 0.1/0.3HF
工作溫度 -10 ~ 80℃
內(nèi)漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
適用于一體化氣路分配系統(tǒng)
每臺(tái)閥門進(jìn)行單獨(dú)氦質(zhì)譜泄漏測(cè)試
超長(zhǎng)使用壽命




































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