半導(dǎo)體高純氣體監(jiān)測(cè)美國(guó)GE MISP2露點(diǎn)儀
應(yīng)用適用于以下行業(yè)：
• 石油化工
• 天然氣
• 工業(yè)用氣
• 半導(dǎo)體
• 爐膛氣體/熱處理
• 發(fā)電
• 空氣干燥器
• 制藥的
• 航空航天
半導(dǎo)體高純氣體監(jiān)測(cè)美國(guó)GE MISP2露點(diǎn)儀
主要技術(shù)參數(shù)：
顯示參數(shù)：
露點(diǎn)（TP）、溫度（℃）、壓力（psig）
露點(diǎn)量程：
-110°至60°C（-166°至140°F）
可選量程：
• 標(biāo)準(zhǔn)：-80°至20°C（-112°至68°F），數(shù)據(jù)為-110°C
（-166°F）
• 超低：-110°至-50°C（-166°至-58°F）
• 高量程數(shù)據(jù)：-80°至60°C（-112°至140°F）25°C
（77°F）處的校準(zhǔn)準(zhǔn)確度
• ±3.6°F（±2°C）高于-148°F（-100°C）
• ±5.4°F（±3°C） 低于 -148°F（-100°C）
重復(fù)性：
• ±0.4°F（±0.2°C）高于-148°F（-100°C）
• ±0.9°F（±0.5°C） 低于 -148°F（-100°C）
溫度：
• 工作溫度：-4°F至+140°F（-20°C至+60°C）
• 儲(chǔ)存溫度：-22°F至+158°F（-30°C至+70°C）操作壓力5 µm高壓：5000 psig（345 bar）
可選壓力傳感器有限-請(qǐng)參見壓力傳感器范圍。
流量范圍：
• 氣體：在1 atm下靜止至10,000 cm/s線速度
• 液體：在密度為1 g/cc時(shí)，線速度為靜止?fàn)顟B(tài)至10 cm/s
溫度量程：
-22°至158°F（-30°至70°C）
精度：
±0.9°F（±0.5°C）總體
壓力量程：
• 30至300 psig（3至21 bar）
• 50至500 psig（4至35 bar）
• 100至1000 psig（7至69 bar）
• 300至3000 psig（21至207 bar）
• 500至5000 psig（35至345 bar）
精度：
±滿量程的1%
壓力等級(jí)：
可用范圍跨度的三倍，值為7500 psig（518
bar）
MIS探頭／分析儀分離：
推薦長(zhǎng)度為3000英尺(0.9公里）
