JPE VMS 外螺紋內(nèi)牙直通接頭作為半導(dǎo)體超高純接頭系統(tǒng)中的直通連接組件，采用 JPE 的金屬墊片面密封（VMS）技術(shù)。

在半導(dǎo)體超高純接頭應(yīng)用中，密封性能、顆?？刂婆c材料純凈度是衡量產(chǎn)品價(jià)值的核心標(biāo)準(zhǔn)。

JPE VMS 外螺紋內(nèi)牙直通接頭通過精密加工的 SS316L 本體與金屬墊片形成無污染物截留的金屬對(duì)金屬密封結(jié)構(gòu)，從根本上消除了彈性體密封件可能帶來的微量釋氣與顆粒污染風(fēng)險(xiǎn)。

這是現(xiàn)代半導(dǎo)體先進(jìn)制程中對(duì)超高純度氣體（UHP）和化學(xué)品輸送系統(tǒng)的底線要求，也是本產(chǎn)品區(qū)別于傳統(tǒng)卡套或O型圈密封接頭的根本價(jià)值所在。

對(duì)于同樣要求嚴(yán)苛的生物制藥、精密分析儀器等領(lǐng)域，本產(chǎn)品憑借與之相同的潔凈度與無泄漏特性，可在真空負(fù)壓至正壓范圍內(nèi)提供長(zhǎng)期穩(wěn)定的無泄漏服務(wù)，是確保關(guān)鍵介質(zhì)從源頭到工藝腔體“全程純凈”的重要保障

VMS密封技術(shù)詳解

VMS 全稱為 Vacuum Metal Seal，是一種由多個(gè)精密加工零件組裝而成的金屬墊片面密封結(jié)構(gòu)。其工作原理為：在外螺紋螺母或接頭本體與內(nèi)螺紋螺母接合的過程中，金屬墊片被兩側(cè)的精密凸緣壓緊，從而完成全金屬界面的密封

以下是本產(chǎn)品作為半導(dǎo)體超高純接頭的關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)

1.表面處理精度： 接管及接頭本體均經(jīng)過精密表面處理，標(biāo)準(zhǔn)拋光粗糙度 Ra ≤ 0.25μm。在半導(dǎo)體超高純接頭應(yīng)用中，這一“鏡面級(jí)”表面處理工藝可有效防止顆粒物在管壁的粘附與積聚，是確保 6N 乃至 9N（99.9999999%）級(jí)超高純度氣體傳輸純度的核心工藝之一。

2.氦氣泄漏率： 出廠前已完成氦氣泄漏測(cè)試。使用鍍銀墊片時(shí)最大泄漏率為 4.1 × 10?? mbar·L/s；使用無鍍銀墊片時(shí)更為嚴(yán)苛，最大泄漏率可達(dá) 4.1 × 10?11 mbar·L/s。

3.可追溯性管理： 接頭本體標(biāo)記了制造商、材料牌號(hào)及制程追溯號(hào)碼，滿足半導(dǎo)體等高精尖行業(yè)對(duì)質(zhì)量全流程追溯的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求。

應(yīng)用場(chǎng)景與系統(tǒng)集成

半導(dǎo)體超高純接頭系統(tǒng)集成

本產(chǎn)品的 VMS 金屬面密封設(shè)計(jì)，使其成為半導(dǎo)體特氣輸送系統(tǒng)（Gas Delivery System）中閥門與管道之間的理想過渡連接件。相比傳統(tǒng)的卡套接頭或VCR接頭，VMS結(jié)構(gòu)在組裝便利性與泄漏管控之間取得了均衡優(yōu)化，尤其適用于空間緊湊、對(duì)密封完整性高要求的超高純（UHP）工藝氣體分配模塊。

特氣柜與氣源分配器連接

緊湊尺寸使其特別適用于半導(dǎo)體工廠特氣柜（Gas Cabinet）、氣源分配器及閥門箱內(nèi)部的高密度管路布局。其一端為 VMS 外螺紋，另一端為 NPT 內(nèi)螺紋，能夠靈活銜接不同類型的下游設(shè)備接口，是氣路系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)異構(gòu)連接的標(biāo)準(zhǔn)解決方案之一。

生物制藥高純流體傳送

憑借 SS316L 材質(zhì)良好的生物相容性與耐腐蝕性，以及金屬面密封的特性，本產(chǎn)品同樣可應(yīng)用于生物反應(yīng)器、細(xì)胞培養(yǎng)設(shè)備等對(duì)無菌性和流體純凈度要求同樣嚴(yán)苛的生物制藥高純流體傳送系統(tǒng)。

腐蝕性與工藝氣體管路

對(duì)于含鹵素（Cl?、F?）、強(qiáng)腐蝕性（HCl、HF）及易燃易爆（SiH?、PH?）等有毒特種氣體，彈性體密封件面臨快速失效甚至引發(fā)安全事故的風(fēng)險(xiǎn)。本產(chǎn)品由 SS316L 本體與金屬墊片構(gòu)成的超高純金屬密封面，能夠長(zhǎng)期耐受化學(xué)腐蝕與高壓沖擊，從根本上消除密封失效隱患。

詳細(xì)尺寸信息如下：

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