PSD-UV系列
PSD系列產品是數字控制的臺式清洗設備，可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。設備配備一個帶反射罩的高強度UV格柵燈盤, 和可調節(jié)高度的樣品臺，用于優(yōu)化樣品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系統具有進出氣接口。該系統由一個方便的預設置控制器控制，非常容易操作。
?預設置的數字控制器
?方便簡單的兩按鍵操作
?自動工作：15.30.60.120分鐘
?工作進程可以在任何時候手工終止
?系統不能提供加熱盤選項
?經濟實用的設計使得PSD系列成為歡迎的選擇
?容易安裝和使用
PSD Pro系列
PSDP 系列產品是研究級的紫外臭氧清洗系統，具有的靈活性，能滿足有機分子去除和其他眾多的應用。可以直接在空氣中操作，或是通過其中一個進氣口通入氧氣來增加臭氧產生?？删幊虜底挚刂破骺梢钥刂葡到y進程，來確保精確時間和優(yōu)化清洗參數。
?可編程數字控制器
?數字顯示倒計時
?輕松升級到熱盤選項
?可執(zhí)行暫停和終止指令
?內部存儲器用于記錄之前的參數設置
—— 一個的系統，提供了增強的進程控制！
PSDP-UVT Pro系列
PSDP-UVT Pro系列帶有PID控制的樣品加熱階段，可以應用于電子、半導體、光學和科研領域。水銀蒸汽燈產生紫外線和臭氧，能夠自動清潔硅、氮化硅、玻璃、金屬、陶瓷和其他材料。PSDP-UVT系列產品同樣可以用來UV治療、UV圖形化、塑造AFM探針形狀以及臭氧刻蝕。
PSDP-UVT Pro系列產品附帶的加熱板可以加速很多應用的清潔過程。
產品特點：
?數字控制加熱階段到150攝氏度
?PSDP-UVT能移除有機污染物
?紫外燈等產生的紫外光波長范圍為185nm到254nm
?產生臭氧和分子激發(fā)
?在周圍空氣或氧氣常壓下操作
?多種氣體端口用來進氣
一般特性：
電 源：100.120.220.240VAC.50-60周期。
樣品高度：所有系統都配置可調節(jié)高度的樣品臺，調節(jié)燈與樣品之間的間距，并帶位置鎖定，標準樣品臺尺寸為UV格柵燈大小或更大。
UV格柵燈：產生臭氧的低壓汞格柵燈，帶反射罩。燈管壽命大約為5000小時。
UV反射罩：UV反射罩一般比UV格柵燈大一英寸。比如4×4英寸燈管反射罩尺寸是5×5英寸。
樣品放置：打開清洗腔上蓋，露出樣品臺，允許360度裝入樣品。
安全裝置：當清洗腔打開時，系統安全鎖會關掉UV燈。
進出氣口：標準配置2個氣接口，可選更多。（PSD-UV3為選項）
真空反應腔：選項客戶化定制，鋁或石英材料。
臭氧中和器：中和器和泵用于臭氧排除。（PSD和PSDP選項）
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