設備簡介
怡和興半導體無氧烤箱的設計具有耐久性和高性能,采用高容量水平空氣再循環(huán)系統(tǒng),盡大限度地提高溫度均勻性及其性能,是理想的工業(yè)烘烤設備,在半導體和電子行業(yè)廣泛應用。用于可控的惰性氣體環(huán)境中處理材料,防潮干燥、環(huán)氧固化和電子元件老化等。充氮無氧烤箱在非氧化環(huán)境中進行溫度測試和熱處理時,在室腔內(nèi)提供可控和不易燃的氮氣,確保有效的加熱,同時保護樣品不被氧化。
設備特點
1、控制系統(tǒng)用PLC+人機界面配合微電腦控制溫控器,帶PID自動演算功能以保證箱體溫度均勻性為±1℃。
2、內(nèi)材質(zhì)用SUS304不銹鋼板,整個內(nèi)腔用氬弧焊滿焊,防止空氣進入烘箱內(nèi),同時節(jié)省惰性氣體;
3、外材質(zhì)為SPCC鋼板經(jīng)過蘇打水清洗后粉體烤漆處理,保溫材質(zhì)為高密度纖維棉,保溫效果好。
4、上下爐腔可單獨控溫、通氣、報警保護,強制送風內(nèi)循環(huán),確保溫度均勻。
5、配置自動充氮氣裝置,與自動開關風門進行充氮烘烤;
6、可以保存配方,查看溫度曲線,導出升溫數(shù)據(jù)等;
7、可調(diào)惰性氣體運風系統(tǒng),包括流量計、雙向氣體控制閥、循環(huán)啟動高流量運風和低流量調(diào)節(jié)。
8、可調(diào)風速,確保適應不同類別的產(chǎn)品。
9、利用玻璃纖維絕緣,以確保機柜表面溫度。
10、獨立的超溫保護,以及接地故障保護等。
11、高容量水平空氣再循環(huán)系統(tǒng)和電加熱系統(tǒng)可實現(xiàn)性能溫度均勻性。
選配組件
1、多點測溫查看及記錄功能;
2、氧含量分析儀;
3、聯(lián)網(wǎng)功能;
4、HEPA高效過濾器;
5、快速降溫系統(tǒng)。






































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