
晶圓探針臺(tái)是半導(dǎo)體元件電信號(hào)測(cè)量介乎晶圓及測(cè)量儀器之間的使用工作站。因?yàn)槿庋蹧]辦法看到組件(包括晶圓或開封后的IC,玻璃基板-LCD/OLED/Solar Cell,印刷電路板,陶瓷電路板等)測(cè)量信號(hào)的輸入和輸出。探針臺(tái)必須搭配基本的顯微鏡及探針座才能執(zhí)行測(cè)量實(shí)驗(yàn)。這樣的組合可以讓用戶將探針精準(zhǔn)的點(diǎn)到組件上的目標(biāo)物, 然后開始在儀器上做電信號(hào)測(cè)量。
探針臺(tái)更高階的配置主要包括:
1、測(cè)量儀器的搭配根據(jù)應(yīng)用,擴(kuò)充性及預(yù)算的考慮選擇適當(dāng)品牌及型號(hào),軟件也可同時(shí)一起評(píng)估使測(cè)量增加便利性及自動(dòng)化;
2、防震臺(tái)可消除來自于大地的震動(dòng)干擾,有助于以下目標(biāo)點(diǎn)針,如射頻mmW高速,IC內(nèi)微小線路點(diǎn)針, LCD微小畫素點(diǎn)針,很容易刺穿的有機(jī)敏感薄膜 (Sensor),非球面微小發(fā)光體MicroLED;
3、電磁波隔離箱/黑箱用于隔離實(shí)驗(yàn)室的噪聲干擾有助于用于做低電流及低電容的測(cè)量,在高壓高流測(cè)量下加裝安全鎖定裝置可保護(hù)人員的安全,同時(shí)在黑箱內(nèi)做電信號(hào)測(cè)量;
4、升降溫吸盤載臺(tái)可讓測(cè)量元件建立熱環(huán)境,在此溫度環(huán)境的同時(shí)進(jìn)行組件的電信號(hào)測(cè)量;
5、真空腔體環(huán)境建立有助于水氣清除執(zhí)行超低溫的電性測(cè)量,氧氣清除執(zhí)行擔(dān)心氧化破壞元件的電信號(hào)測(cè)量;
6、激光切割器可以用于清除氧化保護(hù)膜,切斷電路,修LCD畫素。
深圳市捷泰普科技是中國臺(tái)灣奕葉國際探針臺(tái)公司代理商,可以根據(jù)客戶的需求建議提供適當(dāng)?shù)臉?biāo)準(zhǔn)機(jī)臺(tái),也可以將多個(gè)應(yīng)用集中在一個(gè)探針臺(tái)上,甚至在不適用標(biāo)準(zhǔn)機(jī)臺(tái)的情況下打造訂做機(jī)專門符合客戶的應(yīng)用。

































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