產(chǎn)品介紹：納米粒度及zeta電位分析儀是用來(lái)測(cè)試CMPSlurry納米顆粒粒度分布和zeta電位值的分析儀，粒度分布會(huì)影響藥液的CMP效率，zeta電位值的大小用來(lái)表征藥液整體穩(wěn)定性，zeta電位的越大，藥液穩(wěn)定性越高。測(cè)試SiO2、Al2O3等藥液粒度分布D10、D50、D90等參數(shù)。

原理介紹：

1、粒度測(cè)量

動(dòng)態(tài)光散射(DLS)法原理：當(dāng)激光照射到分散于液體介質(zhì)中的微小顆粒時(shí)，由于顆粒的布朗運(yùn)動(dòng)引起散射光的頻率偏移，導(dǎo)致散射光信號(hào)隨時(shí)間發(fā)生動(dòng)態(tài)變化，該變化的大小顆粒的布朗運(yùn)動(dòng)速度有關(guān)，而顆粒的布朗運(yùn)動(dòng)速度又取決于顆粒粒徑的大小，顆粒大布朗運(yùn)動(dòng)速度低，反之顆粒小布朗運(yùn)動(dòng)速度高，因此動(dòng)態(tài)光散射技術(shù)是分析樣品顆粒的散射光強(qiáng)隨時(shí)間的漲落規(guī)律，使用光子探測(cè)器在固定的角度采集散射光，通過(guò)相關(guān)器進(jìn)行自相關(guān)運(yùn)算得到相關(guān)函數(shù)，再經(jīng)過(guò)數(shù)學(xué)反演獲得顆粒粒徑信息。

2、ZETA電位測(cè)量

ZETA電位是表征分散體系穩(wěn)定性的重要指標(biāo)ZETA電位愈高，顆粒間的相互排斥力越大，膠體體系愈穩(wěn)定，因此通過(guò)電泳光散射法測(cè)量ZETA電位可以預(yù)測(cè)膠體的穩(wěn)定性。