250/1600型復(fù)合質(zhì)譜分子泵技術(shù)參數(shù)表
250/1600型復(fù)合質(zhì)譜分子泵技術(shù)參數(shù)表
型號(hào) | 250/1600 | |
抽氣速率(l/s) | 1600L/S | |
壓縮比N2 | >109 | |
壓縮比H2 | >8×104 | |
極限壓強(qiáng)(Pa) | <2×10-8 | <1×10-7 |
高真空法蘭 | LF250 | CF250 |
排氣口法蘭 | KF50 | |
啟動(dòng)加速時(shí)(min) | <7min | |
電機(jī)轉(zhuǎn)速(n/min) | 24000n/min | |
小不平衡(mg) | 15mg | |
建議采用前級(jí)泵 | 機(jī)械泵15L/S | |
充油量(ml) | / | |
安裝方式 | 垂直±5° | |
冷卻方式 | 水冷或風(fēng)冷 | |
冷卻水溫度 | <20℃ | |
環(huán)境使用溫度(℃) | 風(fēng)冷<32℃ 水冷<40℃ | |
泵體烘烤溫度(℃) | <100℃ | |
泵重量(kg) | 40kg | |
外形尺寸(mm) | Φ340×427 | |
型號(hào) | 250/1600 | |
抽氣速率(l/s) | 1600L/S | |
壓縮比N2 | >109 | |
壓縮比H2 | >8×104 | |
極限壓強(qiáng)(Pa) | <2×10-8 | <1×10-7 |
高真空法蘭 | LF250 | CF250 |
排氣口法蘭 | KF50 | |
啟動(dòng)加速時(shí)(min) | <7min | |
電機(jī)轉(zhuǎn)速(n/min) | 24000n/min | |
小不平衡(mg) | 15mg | |
建議采用前級(jí)泵 | 機(jī)械泵15L/S | |
充油量(ml) | / | |
安裝方式 | 垂直±5° | |
冷卻方式 | 水冷或風(fēng)冷 | |
冷卻水溫度 | <20℃ | |
環(huán)境使用溫度(℃) | 風(fēng)冷<32℃ 水冷<40℃ | |
泵體烘烤溫度(℃) | <100℃ | |
泵重量(kg) | 40kg | |
外形尺寸(mm) | Φ340×427 | |
























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