主要特點：

允許快速的、在原位無破壞性的、高分辨率的處理控制。

自動激光對準芯片技術(shù)，無需人工手動調(diào)節(jié)。

設計小巧、緊湊；使用簡便、舒適 。

所有的功能可以在一臺計算機上進行 。

獨立的；適合大、小形狀各異的樣品 。

樣品自動進場 。

與標準計算機串行端口連接（不需要接口卡） 。

特殊的掃描儀設計，確保低震動靈敏度 。

技術(shù)參數(shù)：

easyScan2 AFM原子力顯微鏡：

1. 兩種可供選擇的原子力顯微鏡掃描頭

(1) 大掃描范圍

掃描范圍：X和Y方向110um x 110um

xy軸分辨率： 1.7nm

掃描范圍： Z方向20um

z軸分辨率： 0.34nm

Z噪音標準（RMS）： <0.4nm

(2) 高分辨率

掃描范圍：X和Y方向10um*10um

xy軸分辨率：0.15nm

掃描范圍：Z方向1.8um

z軸分辨率：0.027nm

Z噪音標準（RMS）：<0.07nm

掃描速度：1800個數(shù)據(jù)點/秒

傳感半徑： <15nm

典型負載： 10nN

掃描儀質(zhì)量：350g

反饋回路寬帶：3kHz

自動進場范圍：5mm

沒有使用危險的高電壓

2. 電子控制器

數(shù)據(jù)采集時，可以和任何標準計算計串行端口連接

三個軸都有16位的數(shù)據(jù)收集與控制系統(tǒng)

軸輸出電壓：+12V

掃描速度：1-20分/框

1024樣品/直線

動態(tài)頻率范圍：15-300KHz

動態(tài)頻率分辨率：15-300KHz

外部電源

功率消耗量25VA

電子控制器質(zhì)量2.5kg

3. 軟件

軟件在Windows 操作系統(tǒng)上運行

測量數(shù)據(jù)可以實現(xiàn)可視化

不同的窗體的掃描數(shù)據(jù)可以被同時顯示

線觀察，點觀察，三維觀察

在線數(shù)學計算功能（減，平均值等等）

類似于粗糙度（Ra，Rq）、頂點剖面、厚度、距離和幾何分析的數(shù)據(jù)分析

可以實現(xiàn)多數(shù)據(jù)輸出

定制顯示器、工作場所

安裝非常簡便