Pα-1H 精密氣體減壓器。單級(jí)膜片式設(shè)計(jì);高壓輸入,低壓標(biāo)準(zhǔn)流量輸出,輸出
壓力穩(wěn)定;適用于半導(dǎo)體級(jí)高純氣體、低濃度毒性、低濃度腐蝕性、易燃易爆氣體等。
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ORDERING INFORMATION
FLOW CHARACTERISTICS
流量曲線圖
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SPECIFICATIONS
工作條件
安裝圖
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OUTLINE DRAWING
上圖是Pα-1H氣體減壓器安裝圖
細(xì)節(jié)展示
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FEATURE HIGHTLIGHT
柔性膜片結(jié)構(gòu),手柄特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),調(diào)節(jié)順暢
單級(jí)式減壓,死體積小,便于吹掃
進(jìn)口出口可以加裝其他附件
主要部件電解拋光處理,增加耐腐蝕性
內(nèi)置精密過(guò)濾器,保證氣體潔凈
產(chǎn)品特點(diǎn)
主要部件材料
全部氦質(zhì)譜測(cè)漏
外漏率低于1.0×10-10Pa.M3/sec.He
超長(zhǎng)使用壽命(高壓型3萬(wàn)次試驗(yàn)值)
(低壓型50萬(wàn)次試驗(yàn)值)
FLOW CHARACTERISTICS
專注本業(yè) 精益求精
主要部件材料
Pα-1H精密氣體減壓器




































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