Pα-2H 精密氣體減壓器。雙級膜片式設(shè)計;高壓輸入,低壓標準流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定;
適用于半導(dǎo)體級高純氣體、低濃度毒性、低濃度腐蝕性、易燃易爆氣體等。
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ORDERING INFORMATION
FLOW CHARACTERISTICS
流量曲線圖
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SPECIFICATIONS
工作條件
安裝圖
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OUTLINE DRAWING
上圖是Pα-2H氣體減壓器安裝圖
細節(jié)展示
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FEATURE HIGHTLIGHT
柔性膜片結(jié)構(gòu),手柄特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計,調(diào)節(jié)順暢
雙級式減壓,死體積小,便于吹掃
進口出口可以加裝其他附件
主要部件電解拋光處理,增加耐腐蝕性
內(nèi)置精密過濾器,保證氣體潔凈
產(chǎn)品特點
主要部件材料
全部氦質(zhì)譜測漏
外漏率低于1.0×10-10Pa.M3/sec.He
超長使用壽命(高壓型3萬次試驗值)
(低壓型50萬次試驗值)
FLOW CHARACTERISTICS
專注本業(yè) 精益求精
主要部件材料
Pα-2H精密氣體減壓器




































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