| 型號 | PR300 | PR301 | |
| 模式 | DP模式,桶型 | ||
| 控制部 | 高頻輸出 | Max300W | |
| 頻率 | 13.56MHz | ||
| 同調(diào)方式 | 手動2軸同調(diào)方式 | ||
| 反應(yīng)部 | 反應(yīng)腔 | 超硬質(zhì)玻璃 Φ64×160mm×3室 | 耐熱玻璃 Φ118×160mm |
| 反應(yīng)氣體 | 1系統(tǒng)(氧氣)流量計(jì) | ||
| 控制 | 自動減壓、自動密閉閥 | ||
| 配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金 | 不銹鋼、特氟龍 | |
| 外形尺寸 | W438×D520×H556mm | W438×D520×H630mm | |
| 重量 | 約36kg | 約34kg | |
| 電源 | AC100V 7A | ||


































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