
產品型號:ATLEX-1000-L
品牌名稱:德國ATL Lasertechnik
產品特點:
· TMC(全金屬陶瓷)管路
· 電暈預電離
· 固態(tài)開關
· 延長動態(tài)和靜態(tài)氣體壽命(數(shù)月)
· 激光頭容積6 L
· 全部風冷
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 集成4閥系統(tǒng),便于氣體處理
· 符合歐洲CE標準,符合RoHS規(guī)范
· 模塊化設計/服務友好
產品參數(shù):
| ATLEX-1000-L產品參數(shù) | |||
| 氣體介質 | ArF | KrF | 單位 |
| 波長 | 193 | 248 | nm |
| 高壓開關技術 | 固態(tài)開關 | | |
| 脈沖能量1 | 10 | 15 | mJ |
| 平均功率 | 8.0 | 10.0 | W |
| 重復頻率 | 1000 | Hz | |
| 脈沖寬度2 | 5 – 8 | ns | |
| 光束尺寸2(V x H) | 6 x 4 | mm | |
| 光束發(fā)散角2(V x H) | 2 x 1 | mrad | |
| 能量穩(wěn)定性(標準偏差) | < 2 | % | |
| 尺寸(長x寬x高) | 600 x 415 x 567 | mm | |
| 重量 | 70 | kg | |
| 冷卻 | Cooling Air / Optional Liquid | | |
| 電力需求 | 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz | | |
所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù),如有因產品改進而更改的,恕不另行通知。
1 在重復頻率情況下測得: 應用能量穩(wěn)定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值,FWHM


































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