透射電子顯微鏡除了延續(xù)了日立公司配備的球面像差校正器的功能、自動校正功能,像差校正后的SEM圖像和對稱Dual SDD技術(shù)等特點。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術(shù)。
200 kV相差校正TEM/STEM,平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能
通過單極片實現(xiàn)0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX。
對于包括科研用戶在內(nèi)的廣泛用戶,我們提供亞?級空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀察和分析方法。
產(chǎn)品特點
• 標(biāo)配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器(附自動校正功能)
• 搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場FE電子槍
• 鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機(jī)體的性能大幅度提升
• 觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時觀察原子分辨率SE圖像
• 采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺結(jié)構(gòu)以及樣品桿
• 支持高立體角EDX的對稱配置(對稱Dual SDD)
• 采用全新構(gòu)造的機(jī)體外殼蓋
• 配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿





























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