單軸/三軸任選、多探頭可配，PLR3000納米級精度光纖激光尺靈活適配各類測量需求。

不同設(shè)備、不同生產(chǎn)場景，對測量的自由度、安裝方式要求千差萬別。標(biāo)準(zhǔn)化測量設(shè)備往往難以適配，要么功能冗余浪費(fèi)成本，要么滿足不了核心需求。PLR3000系列光纖激光尺支持靈活配置，可按需定制測量方案，適配各類復(fù)雜工況。

在測量自由度上，支持單軸、雙軸、三軸輸出，無論是簡單的直線位移測量，還是多自由度位置檢測，都能按需匹配，不用為多余功能買單。

在探頭選型上，提供差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭可選：差分探頭適配高精度位移臺閉環(huán)控制，平面鏡探頭適合長行程測量，角錐棱鏡探頭安裝容錯(cuò)性更高，可對應(yīng)不同安裝條件與精度要求。

同時(shí)產(chǎn)品支持量程拓展，標(biāo)準(zhǔn)4米量程可根據(jù)需求升級，兼顧微小行程精密測量與大行程位移檢測。

PLR3000納米級精度光纖激光尺基于激光干涉測量原理，專為超精密制造場景打造，目前已廣泛適配四大核心領(lǐng)域：

- 半導(dǎo)體與光刻領(lǐng)域：支撐晶圓加工、光刻設(shè)備的位移檢測與閉環(huán)控制，匹配納米級制程精度要求；

- 精密機(jī)床與裝備制造：有效抵消環(huán)境溫變、設(shè)備散熱帶來的測量誤差，保障加工精度長期一致；

- 微電子、微機(jī)械、微光學(xué)領(lǐng)域：10nm級分辨率滿足微小器件的加工與檢測需求；

- 精密檢測與實(shí)驗(yàn)設(shè)備：配套納米位移臺、測量平臺實(shí)現(xiàn)高精度位置控制。

針對不同場景的安裝空間、測量自由度需求，產(chǎn)品還支持靈活配置方案，助力各領(lǐng)域企業(yè)突破精度瓶頸、穩(wěn)定提升良率。如果您正面臨測量精度不足的難題，歡迎咨詢獲取專屬場景方案。

無論是新設(shè)備配套研發(fā)，還是舊產(chǎn)線精度升級，PLR3000都能通過靈活配置方案貼合您的實(shí)際需求。如需定制化配置方案，可隨時(shí)聯(lián)系技術(shù)團(tuán)隊(duì)對接。

注：產(chǎn)品參數(shù)與服務(wù)可能根據(jù)技術(shù)升級實(shí)時(shí)更新，具體以新標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)，詳情可咨詢客服獲取完整資料。