MicroTool EL-3003電子水準(zhǔn)儀晶圓EL-1503 EL-5003

品牌：MicroTool

類別：電子水準(zhǔn)儀晶圓

型號：EL-Series

公司簡介：

MicroTool的產(chǎn)品通過改進關(guān)鍵的晶圓處理操作來提高硅產(chǎn)量和設(shè)備正常運行時間。

我們花了數(shù)年時間開發(fā)用于測量和分析機器人、裝載口和其他工廠自動化的設(shè)備。

這些系統(tǒng)將“對齊藝術(shù)”轉(zhuǎn)化為可重復(fù)和可測量的科學(xué)。

MicroTool EL-3003電子水準(zhǔn)儀晶圓EL-1503 EL-5003產(chǎn)品簡介：

在不損壞硅片的情況下設(shè)置和循環(huán)測試您的設(shè)備。

這種高科技碳纖維復(fù)合材料晶片幾乎堅不可摧，按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)直徑、平整度和凹口規(guī)格制造。

碳纖維虛擬晶片也被設(shè)計為模仿硅片的重量和結(jié)構(gòu)特性。

提供125、150、200、300和450mm SEMI兼容直徑。

還可以定制印刷圖案和機加工幾何形狀。

碳纖維材料的重量接近硅片的重量。

晶圓周長和凹口與預(yù)對準(zhǔn)器兼容。

碳纖維材料幾乎堅不可摧。

與真空和邊緣抓握末端執(zhí)行器兼容。

產(chǎn)品介紹：

很快就會成為您工具箱中使用最多的項目！保留所有你的

設(shè)備與布魯克斯的電子水平晶片“在水平面上”。

與硅片的重量相匹配，這款多功能工具

該設(shè)計允許在末端執(zhí)行器和晶片處理刀片上使用

以及晶片盒和石英舟。簡單到

使用顯示器，您可以向地面或您自己的用戶水平

定義的參考平面。直觀的圖形和觸摸屏

簡化操作，同時遠(yuǎn)程實時顯示

便于遠(yuǎn)程調(diào)整。

Features:

> 2-Axis electronic level for leveling to

ground or to a learned reference

> Numerical readout for both pitch and

roll allows for statistical analysis and

calibration to specification

> Intuitive graphics screens and touch

screen LCD simplify operation

> Adjustments can be made

conveniently using the remote real

time display

> Carbon fiber wafer mimics the

geometry and weight of a silicon wafer

> New high resolution, high accuracy

electronic level

> New low profile – fits through more slit

valves

> Fast settling time

> Improved software with user setup

capabilities

> Settable tolerances w/ graphical

pass/fail indication

> Data logging allows dynamic studies

ａnd facilitates monitoring equipment

over time

其它相關(guān)型號：

MicroTool EL-1503   Form Factor：150mm

MicroTool EL-2003   Form Factor：200mm

MicroTool EL-3003   Form Factor：300mm

MicroTool EL-4503   Form Factor：450mm

MicroTool EL-5003   Form Factor：1” X 3” X 3” Block

MicroTool EL-5003-Reticle    Form Factor：Reticle

MicroTool LP-3004  300mm Load Port Checker With AMHS Compatibility

MicroTool FG-3000  Loadport Force Gage