采用高穩(wěn)定性大理石基座,抗溫變能力強(qiáng),測(cè)量穩(wěn)定性好。
氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng),運(yùn)動(dòng)精度高,摩擦力小。
采用納米級(jí)光柵位移傳感器,能夠精確測(cè)量測(cè)鉆的微小位移變化,以獲取被測(cè)件的導(dǎo)程參數(shù)。
機(jī)臺(tái)多維抑流防護(hù)罩體,有效隔絕環(huán)境灰塵、氣流、溫度等變量干擾。
| 型號(hào) | BSL1500 | BSL3000 | |
| 測(cè)量范圍 | 絲杠測(cè)量長(zhǎng)度 | ≤1500mm | ≤3000mm |
| 旋轉(zhuǎn)軸與尾座中心距 | ≤1800mm | ≤3500mm | |
| 絲杠測(cè)量外徑范圍 | Φ3mm~Φ35mm | Φ100mm | |
| 絲杠最小螺距范圍 | ≥0.5mm | ≥0.5mm | |
| 絲杠副螺母的夾持范圍 | Φ5mm~Φ50mm | Φ200mm | |
| 設(shè)備各軸的精度參數(shù) | 圓編碼器線數(shù) | 28800點(diǎn) | 28800點(diǎn) |
| 角度間隔 | 0.0125° | 0.0125° | |
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 0.5r/min至20r/min | 0.5r/min至20r/min | |
| 徑向跳動(dòng) | ≤2μm | ≤2μm | |
| 高精度直線導(dǎo)軌直線度 | 2μm/500mm | 2μm/500mm | |
| 浮動(dòng)臺(tái)光柵位移傳感器分辨率 | 0.01μm | 0.01μm | |
| 測(cè)量誤差 | ±(1.5+L/300)μm | ±(1.5+L/300)μm | |

































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