*的離子束技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高空間分辨率

PHI nanoTOF3 能夠提供高質(zhì)量分辨和高空間分辨的TOF-SIMS分析 ：在高質(zhì)量分辨模式下，其空間分辨率優(yōu)于500 nm；在高空間分辨模式下，其空間分辨模式優(yōu)于50 nm。通過結(jié)合高強(qiáng)度離子源、高精度脈沖組件和高分辨率質(zhì)量分析器，可以實(shí)現(xiàn)低噪聲、高靈敏度和高質(zhì)量分辨率的測(cè)量。

高空間分辨模式下脈沖束斑優(yōu)于50 nm

Triple Ion Focusing Time-of-Flight (TRIFT)

—三重離子束聚焦質(zhì)量分析器

寬帶通能量、寬立體接受角度

—適用于各種形貌樣品分析

主離子束激發(fā)的二次離子會(huì)以不同角度和能量從樣品表面飛出，特別是對(duì)于有高度差異和形貌不規(guī)則的樣品，即使相同的二次離子在分析器中會(huì)存在飛行時(shí)間上的差異，因此導(dǎo)致質(zhì)量分辨率變差，并對(duì)譜峰形狀和背景產(chǎn)栺影響。

TRIFT質(zhì)量分析器可以同時(shí)對(duì)二次離子發(fā)射角度和能量進(jìn)行校正，保證相同二次離子的飛行時(shí)間一致，所以TRIFT兼顧了高質(zhì)量分辨率和高檢測(cè)靈敏度優(yōu)勢(shì)，對(duì)于不平整樣品的成像可以減少陰影效應(yīng)。

全新的全自動(dòng)樣品傳送系統(tǒng)

PHI nanoTOF3 配置了在XPS的Q系列上表現(xiàn)優(yōu)異的全自動(dòng)樣品傳送系統(tǒng)：樣品尺寸可達(dá)100 mmx100 mm，而且分析室標(biāo)配內(nèi)置樣品托停放裝置；結(jié)合分析序列編輯器（Queue Editor），可以實(shí)現(xiàn)對(duì)大量樣品的全自動(dòng)連續(xù)測(cè)試。

采用新開發(fā)的脈沖氬離子槍

自動(dòng)荷電雙束中和技術(shù)

TOF-SIMS測(cè)試的大部分樣品為絕緣樣品，而絕緣樣品表面通常有荷電效應(yīng)。PHI nanoTOF3 采用自動(dòng)荷電雙束中和技術(shù)，通過同時(shí)發(fā)射低能量電子束和低能量氬離子束，可實(shí)現(xiàn)對(duì)任何類型和各種形貌的絕緣材料的真正自動(dòng)荷電中和，無需額外的人為操作。

※需要選配Ar離子槍

MS/MS平行成像

同時(shí)采集MS1/MS2數(shù)據(jù)

在TOF-SIMS測(cè)試中，MS1質(zhì)量分析分析器接收從樣品表面產(chǎn)生的所有二次離子碎片，對(duì)于質(zhì)量數(shù)接近的大分子離子，MS1譜圖難以區(qū)分。通過安裝串聯(lián)質(zhì)譜MS2，對(duì)于特定離子進(jìn)行碰撞誘導(dǎo)解離栺產(chǎn)特征離子碎片，MS2譜圖可以實(shí)現(xiàn)對(duì)分子結(jié)構(gòu)的進(jìn)一步鑒定。

PHI nanoTOF3 具備串聯(lián)質(zhì)譜MS/MS平行成像功能，可以同時(shí)獲取分析區(qū)域的MS1和MS2數(shù)據(jù)，為分子結(jié)構(gòu)的精準(zhǔn)分析提供了強(qiáng)有力的工具。

遠(yuǎn)程訪問實(shí)現(xiàn)對(duì)儀器的遠(yuǎn)程控制

PHI nanoTOF3 允許通過局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)訪問儀器。只需將樣品臺(tái)放入進(jìn)樣室，就可以對(duì)進(jìn)樣、換樣、測(cè)試和分析等所有操作進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。我們的專業(yè)人員可以對(duì)儀器進(jìn)行遠(yuǎn)程診斷*。

多樣化配置充分發(fā)揮TOF-SIMS潛力

兼容多種儀器的樣品傳送管

樣品傳送管是專為大氣敏感類樣品所設(shè)計(jì)的樣品轉(zhuǎn)移裝置。通過該裝置可以實(shí)現(xiàn)在惰性氣體保護(hù)下的樣品制備與轉(zhuǎn)移，從而避免樣品在傳遞過程中接觸大氣。此外，樣品傳送管與PHI旗下多款XPS和AES設(shè)備相兼容，便于用戶使用多種表面分析技術(shù)進(jìn)行綜合分析。

進(jìn)樣室手套箱

可以選配直接連接到樣品進(jìn)樣室的可拆卸手套箱。鋰離子電池和有機(jī)OLED等容易與大氣發(fā)栺反應(yīng)的樣品可以直接安裝在樣品臺(tái)上。此外，在冷卻分析后更換樣品時(shí)，可以防止樣品表面結(jié)霜。

加熱和冷卻樣品臺(tái)

樣品可以在測(cè)量位置加熱和冷卻。溫度在-150℃到200℃之間可控，從進(jìn)樣到測(cè)量，可隨時(shí)監(jiān)測(cè)和控制溫度。

用于曲面分析的樣品臺(tái)

可以在不受凹凸影響的情況下觀察曲面的樣品臺(tái)。對(duì)采譜的質(zhì)量范圍沒有限制，可以實(shí)現(xiàn)寬捕獲立體角和高精度質(zhì)譜分析。適用于球體、線材和纖維等樣品。

氬團(tuán)簇離子槍

使用氬團(tuán)簇離子束(Ar-GCIB)可以對(duì)有機(jī)材料進(jìn)行低損傷離子刻蝕，實(shí)現(xiàn)在保持有機(jī)化合物分子結(jié)構(gòu)的同時(shí)進(jìn)行深度剖析。

銫離子槍和氬/氧離子槍

可選配銫離子槍（負(fù)離子分析）和氧離子槍（正離子分析）作為濺射離子槍用于無機(jī)材料的高靈敏度分析，這兩種離子槍對(duì)相應(yīng)極性的二次離子具有增強(qiáng)效應(yīng)。