?? 壓力使膜片變形,變形量與壓力大小成比例關(guān)系,通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度.
2. 電容薄膜規(guī)特點
?? 以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構(gòu)成
?? 在嚴酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強測量
?? 快速的預熱和恢復時間,提高生產(chǎn)率
?? 的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復性
?? 由于電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性
?? 對環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩(wěn)定
?? 快速預熱在開機的一分鐘內(nèi)達到快速穩(wěn)定和進入 準備使用狀態(tài)
?? 一鍵按鈕: 調(diào)零功能和設點調(diào)整
?? 抗腐蝕超純陶瓷傳感器
?? 能經(jīng)受數(shù)百萬次壓強循環(huán)周期,包括大氣壓 沖擊,無任何降低性能的跡象
?? 暴露大氣壓后快速恢復,無需隔離閥
?? 對蒸氣介質(zhì)不敏感
?? 的傳感器屏蔽 ()延長真空計在污染的工藝過程中的使用壽命)




























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