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Gasboard-2061 紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

參考價
150000
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號Gasboard-2061
  • 品牌四方儀器
  • 所在地武漢市
  • 更新時間2026-09-08
  • 廠商性質生產廠家
  • 入駐年限6
  • 實名認證已認證
  • 產品數(shù)量528
  • 人氣值701618
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上市時間:
創(chuàng)  新 點:
2026-05-11
Gasboard-2061紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產量。

四方光電(武漢)儀器有限公司為四方光電股份有限公司(代碼688665)的全資子公司,成立于2010年,前身為湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司,簡稱:四方儀器,是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術企業(yè),服務于環(huán)境監(jiān)測、過程氣體監(jiān)測、智慧計量等領域。

基于四方光電核心氣體傳感技術平臺的優(yōu)勢,湖北銳意開發(fā)了系列非分光紅外(NDIR)、紫外差分吸收光譜(UV-DOAS)、激光拉曼(LRD)、超聲波(Ultrasonic)、熱導(TCD)、光散射探測(LSD)等技術原理的氣體成分流量儀器儀表,產品廣泛應用于環(huán)境監(jiān)測、冶金、煤化工、生物質能源等各個行業(yè),在節(jié)能減排中發(fā)揮重要作用。

四方儀器自主研發(fā)生產的便攜式紅外沼氣分析儀、微流紅外煙氣分析儀、紅外煤氣分析儀曾相繼獲得國家重點新產品證書,紅外煤氣分析儀獲得中國儀器儀表學會優(yōu)秀產品獎榮譽,其核心技術獲得湖北省發(fā)明金獎。四方光電“微流紅外煙氣傳感器研究及產業(yè)化”獲得工信部2019年工業(yè)強基工程重點“產品、工藝”應用計劃示范項目,公司獲得應用計劃示范企業(yè)。

四方儀器憑借長期的技術沉淀、嚴格的質量體系及國際化視野,產品已出口多個國家和地區(qū),正在朝著氣體分析儀器儀表增值應用領域的國際品牌邁進。








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產地國產 加工定制 檢測原理NDIR
檢測氣體WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 量程1~264ppm(0~200mTorr) 重復性±0.5%
線性±1%F.S. 檢測限1ppm
紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產量。
紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝 產品詳情

紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝


產品名稱:紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

產品型號:Gasboard-2061


紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝產品概述

Gasboard-2061是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產量。


產品特性

)使用NDIR技術,多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

(2)響應時間快,高靈敏度

(3)無耗材

(4)模擬/數(shù)字通信

(5)模塊化設計,便于集成


技術參數(shù)


檢測原理NDIR
檢測氣體WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm



應用領域

半導體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測


四方光電(武漢)儀器有限公司為四方光電股份有限公司的全資子公司,簡稱:四方儀器,前身為成立于2010年的湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司,是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術企業(yè),服務于工業(yè)過程監(jiān)測、環(huán)境監(jiān)測、汽車/發(fā)動機排放檢測、科學研究氣體分析等領域。







關鍵詞:氣體傳感器
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