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2026-05-11

Gasboard-2061紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

公司介紹主營產(chǎn)品

四方光電（武漢）儀器有限公司為四方光電股份有限公司（代碼688665）的全資子公司，成立于2010年，前身為湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司，簡稱：四方儀器，是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術(shù)企業(yè)，服務(wù)于環(huán)境監(jiān)測、過程氣體監(jiān)測、智慧計量等領(lǐng)域。

基于四方光電核心氣體傳感技術(shù)平臺的優(yōu)勢，湖北銳意開發(fā)了系列非分光紅外（NDIR）、紫外差分吸收光譜（UV-DOAS）、激光拉曼（LRD）、超聲波（Ultrasonic）、熱導(dǎo)（TCD）、光散射探測（LSD）等技術(shù)原理的氣體成分流量儀器儀表，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測、冶金、煤化工、生物質(zhì)能源等各個行業(yè)，在節(jié)能減排中發(fā)揮重要作用。

四方儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的便攜式紅外沼氣分析儀、微流紅外煙氣分析儀、紅外煤氣分析儀曾相繼獲得國家重點新產(chǎn)品證書，紅外煤氣分析儀獲得中國儀器儀表學(xué)會優(yōu)秀產(chǎn)品獎榮譽，其核心技術(shù)獲得湖北省發(fā)明金獎。四方光電“微流紅外煙氣傳感器研究及產(chǎn)業(yè)化”獲得工信部2019年工業(yè)強(qiáng)基工程重點“產(chǎn)品、工藝”應(yīng)用計劃示范項目，公司獲得應(yīng)用計劃示范企業(yè)。

四方儀器憑借長期的技術(shù)沉淀、嚴(yán)格的質(zhì)量體系及國際化視野，產(chǎn)品已出口多個國家和地區(qū)，正在朝著氣體分析儀器儀表增值應(yīng)用領(lǐng)域的國際品牌邁進(jìn)。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	是	檢測原理	NDIR
檢測氣體	WF6、CF4、SF6、NF3、CO2	量程	1~264ppm(0~200mTorr)	重復(fù)性	±0.5%
線性	±1%F.S.	檢測限	1ppm

紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝產(chǎn)品詳情

紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

產(chǎn)品型號：Gasboard-2061

紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝產(chǎn)品概述

Gasboard-2061是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

產(chǎn)品特性

）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應(yīng)時間快，高靈敏度

（3）無耗材

（4）模擬/數(shù)字通信

（5）模塊化設(shè)計，便于集成

技術(shù)參數(shù)

檢測原理	NDIR
檢測氣體	WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性	±0.5%
線性	±1%F.S.
檢測限	1ppm

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測

四方光電（武漢）儀器有限公司為四方光電股份有限公司的全資子公司，簡稱：四方儀器，前身為成立于2010年的湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司，是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術(shù)企業(yè)，服務(wù)于工業(yè)過程監(jiān)測、環(huán)境監(jiān)測、汽車/發(fā)動機(jī)排放檢測、科學(xué)研究氣體分析等領(lǐng)域。

關(guān)鍵詞：氣體傳感器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
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四氟化硅氣體傳感器	￥90000	武漢市	四方光電(武漢)儀器有限公司	2026-09-08	在線詢價
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