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創(chuàng) 新點：

2026-05-11

Gasboard-2061紅外氣體傳感器半導體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產量。

公司介紹主營產品

四方光電（武漢）儀器有限公司為四方光電股份有限公司（代碼688665）的全資子公司，成立于2010年，前身為湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司，簡稱：四方儀器，是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術企業(yè)，服務于環(huán)境監(jiān)測、過程氣體監(jiān)測、智慧計量等領域。

基于四方光電核心氣體傳感技術平臺的優(yōu)勢，湖北銳意開發(fā)了系列非分光紅外（NDIR）、紫外差分吸收光譜（UV-DOAS）、激光拉曼（LRD）、超聲波（Ultrasonic）、熱導（TCD）、光散射探測（LSD）等技術原理的氣體成分流量儀器儀表，產品廣泛應用于環(huán)境監(jiān)測、冶金、煤化工、生物質能源等各個行業(yè)，在節(jié)能減排中發(fā)揮重要作用。

四方儀器自主研發(fā)生產的便攜式紅外沼氣分析儀、微流紅外煙氣分析儀、紅外煤氣分析儀曾相繼獲得國家重點新產品證書，紅外煤氣分析儀獲得中國儀器儀表學會優(yōu)秀產品獎榮譽，其核心技術獲得湖北省發(fā)明金獎。四方光電“微流紅外煙氣傳感器研究及產業(yè)化”獲得工信部2019年工業(yè)強基工程重點“產品、工藝”應用計劃示范項目，公司獲得應用計劃示范企業(yè)。

四方儀器憑借長期的技術沉淀、嚴格的質量體系及國際化視野，產品已出口多個國家和地區(qū)，正在朝著氣體分析儀器儀表增值應用領域的國際品牌邁進。

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產品簡介在線詢價

產地	國產	加工定制	是	檢測原理	NDIR
檢測氣體	WF6、CF4、SF6、NF3、CO2	量程	1~264ppm(0~200mTorr)	重復性	±0.5%
線性	±1%F.S.	檢測限	1ppm

紅外氣體傳感器半導體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產量。

紅外氣體傳感器半導體行業(yè)薄膜沉積工藝產品詳情

紅外氣體傳感器半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

產品名稱：紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

產品型號：Gasboard-2061

紅外氣體傳感器半導體行業(yè)薄膜沉積工藝產品概述

Gasboard-2061是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產量。

產品特性

）使用NDIR技術，多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應時間快，高靈敏度

（3）無耗材

（4）模擬/數(shù)字通信

（5）模塊化設計，便于集成

技術參數(shù)

檢測原理	NDIR
檢測氣體	WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)
重復性	±0.5%
線性	±1%F.S.
檢測限	1ppm

應用領域

半導體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測

四方光電（武漢）儀器有限公司為四方光電股份有限公司的全資子公司，簡稱：四方儀器，前身為成立于2010年的湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司，是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術企業(yè)，服務于工業(yè)過程監(jiān)測、環(huán)境監(jiān)測、汽車/發(fā)動機排放檢測、科學研究氣體分析等領域。

關鍵詞：氣體傳感器

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產品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
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