預(yù)處理過濾設(shè)備

• 石英砂過濾器：利用石英砂的多孔性，能有效去除水中的懸浮物、泥沙、鐵銹等顆粒較大的雜質(zhì)，降低水的濁度，為后續(xù)的過濾和處理提供基礎(chǔ)保障，防止大顆粒雜質(zhì)對后續(xù)設(shè)備造成堵塞和損壞。

• 活性炭過濾器：通過活性炭的吸附作用，可以去除水中的有機物、余氯、色度、異味等，提高水的純凈度，減少水中的有機污染物對半導(dǎo)體制造過程的影響，避免其在芯片表面形成缺陷1.

• PP 棉過濾器：能初步過濾水中的鐵銹、泥沙、膠體等雜質(zhì)，對原水進行粗過濾，保護后續(xù)的精密過濾設(shè)備和反滲透膜等核心部件，延長其使用壽命，確保整個系統(tǒng)的穩(wěn)定運行.

核心過濾及除鹽設(shè)備

• 反滲透（RO）系統(tǒng)：在壓力驅(qū)動下，利用半透膜的原理，使水通過而鹽分、有機物、細菌等雜質(zhì)被截留，可有效去除水中的大部分溶解鹽類、膠體、微生物等，是制備超純水的關(guān)鍵步驟之一，能顯著提高水的純度，為后續(xù)的進一步處理提供高質(zhì)量的進水.

• 電去離子（EDI）系統(tǒng)：結(jié)合了離子交換技術(shù)和離子電遷移技術(shù)，無需酸堿再生，可連續(xù)穩(wěn)定地產(chǎn)出高純度的超純水，能去除水中的微量離子，使水的電阻率大幅提高，達到半導(dǎo)體生產(chǎn)所需的超純水標準，同時具有操作簡便、環(huán)保等優(yōu)點.

精密過濾設(shè)備

• 精密過濾器：通常采用微孔濾膜或濾芯，可進一步去除水中的微小顆粒、細菌、膠體等雜質(zhì)，其過濾精度一般在 0.1μm 至 1μm 之間，確保超純水的顆粒物質(zhì)含量極低，滿足半導(dǎo)

• 超濾（UF）系統(tǒng)：利用超濾膜的篩分作用，能夠去除水中的大分子有機物、膠體、細菌、病毒等雜質(zhì)，同時保留對半導(dǎo)體生產(chǎn)無害的小分子物質(zhì)和離子，在保證水質(zhì)的前提下，可有效降低運行成本，提高生產(chǎn)效率，常用于超純水制備的預(yù)處理或后處理環(huán)節(jié).

其他輔助設(shè)備

• 離子交換樹脂床：通過離子交換反應(yīng)，去除水中的各種離子，進一步提高水的純度，常作為反滲透和 EDI 系統(tǒng)的補充，用于深度除鹽，確保超純水的電阻率和離子含量符合半導(dǎo)體生產(chǎn)的高標準要求.

• 紫外線殺菌器：利用紫外線的殺菌作用，可有效殺滅水中的細菌、病毒等微生物，防止微生物在超純水中滋生繁殖，影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和性能，保障超純水在使用過程中的微生物安全性.

• 水箱及管道系統(tǒng)：用于儲存和輸送超純水，通常采用高質(zhì)量的不銹鋼或其他耐腐蝕材料制成，以防止水質(zhì)受到污染，同時要注意管道的設(shè)計和安裝，避免死角和死區(qū)的存在，確保超純水的流動順暢和水質(zhì)穩(wěn)定。