真空電容壓力計 應(yīng)用
真空爐
真空包裝
等離子體滅菌器
冷凍干燥
真空蒸餾
石化行業(yè)
半導(dǎo)體行業(yè)
PECVD/ALD工藝設(shè)備
等離子體刻蝕工藝設(shè)備
真空電容壓力計 主要特點
行業(yè)標準接頭
高精度:標準±0.5%讀數(shù),可選±0.25%讀數(shù)
精密膜片保證優(yōu)異的性能
工作溫度補償范圍寬
電路噪聲低、響應(yīng)快
不易受環(huán)境條件變化影響
出色的抗過壓設(shè)計
產(chǎn)品外形

過載和爆破壓力額定值
規(guī)格參數(shù)
| 量程 | 10Torr.A/1.33kPa.A |
| 精度 | ± 0.5%讀書; ±0.25%讀數(shù)(可選) |
| 工作電壓 | (18~24)V DC |
| 輸出信號 | (0~10)V DC |
| 工作溫度 | (10~50)℃ |
| 測量介質(zhì) | 氣體 |
| 電氣接頭 | 9 pin模擬接口 |
| 過程連接 | KF16 |
| 上電預(yù)熱時間 | 10min |
| 外殼材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 接液材料 | 鎳基合金 |
接線定義



































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