碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫?cái)U(kuò)散爐

碳化硅氧化爐 真空退火爐 高溫?cái)U(kuò)散爐

  CL系列的擴(kuò)散爐為我公司根據(jù)客戶(hù)需求定制的專(zhuān)用設(shè)備，用于太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，該設(shè)備具有：關(guān)鍵部件進(jìn)口、自動(dòng)化程度高、溫度均勻、控制穩(wěn)定、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)，是理想的科研及生產(chǎn)設(shè)備。

主要技術(shù)指標(biāo)：

★可處理硅片尺寸：2—8英寸
★外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)
★工作溫度：200℃—1300℃
★恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
★單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：≤±0.5℃／24h
★溫度斜變：可控升溫速率20℃／min，
★可控降溫速率：5℃／min
★送片裝置：全自動(dòng)懸臂推拉舟、拉桿是推拉舟、手動(dòng)推拉
★氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管
★氣體控制：全自動(dòng)MFC、手動(dòng)浮子流量計(jì)
★控制方式：工控機(jī)、觸摸屏

青島晨立電子有限公司成立于2009年，是專(zhuān)業(yè)半導(dǎo)體工藝設(shè)備及xian進(jìn)材料專(zhuān)用設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售廠家，是山東省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)重點(diǎn)骨干企業(yè)，“專(zhuān)精特新”企業(yè)。為客戶(hù)提供xian進(jìn)材料熱處理、高精度電加熱設(shè)備及系統(tǒng)集成等全套解決方案。

主要產(chǎn)品：高低溫?cái)U(kuò)散爐、實(shí)驗(yàn)爐、共晶爐、燒結(jié)爐、加磁爐、高精度智能溫度控制系統(tǒng)和替代進(jìn)口的擴(kuò)散爐爐體等，同時(shí)承接各種微電子生產(chǎn)線，進(jìn)口半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備的翻新升級(jí)改造及各大專(zhuān)院校科研院所的非標(biāo)研發(fā)定制工作。