高壓環(huán)形壓電陶瓷疊堆 電壓500V1000V高壓疊堆壓電陶瓷是將單晶體壓電陶瓷片與金屬電極層交替疊堆粘接而成,標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動電壓0~500V,0~1000V,高壓疊堆陶瓷因其出力大,靜電容量低等特點,適用于大負載以及加載預(yù)緊力后的動態(tài)的應(yīng)用。
高壓環(huán)形壓電陶瓷疊堆 電壓500V1000V高壓柱形疊堆壓電陶瓷外徑大出力大,出力可達50000N,長度大位移大,位移可達105μm。
特性
• 位移105μm • 500V、1000V驅(qū)動電壓 • 出力大 • 靜電容量低
• 多種型號可選 • 響應(yīng)速度快 • 真空兼容
工藝結(jié)構(gòu)
高壓疊堆壓電陶瓷是將單層壓電陶瓷片進行疊堆粘接,再利用金屬片將陶瓷片之間的電極連接,因此高壓壓電陶瓷為復(fù)合材料結(jié)構(gòu)。相對于低壓疊堆壓電陶瓷,相同體積,靜電容量比較低,在預(yù)載力的條件下動態(tài)性能更好。
工藝特點
• 單層陶瓷厚度0.5mm • 靜電容量/cm3: 100nF • 熱膨脹系數(shù):-5ppm/°C
應(yīng)用
• 納米定位 • 主動振動控制 • 隔震平臺 • 半導(dǎo)體加工測試
• 光學(xué)調(diào)整 • 腔調(diào)諧















































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